JKZC-UVZ-10B三自由度晶圓調節臺
音圈電機驅動三自由度晶圓調節臺，屬于三軸并聯運動機構。通過三個線性移動軸的并聯運動實現Z軸線性運動和θxθy軸旋轉運動。可以實現單軸直線運動、兩軸線性插補、兩軸圓弧插補、任意圓心旋轉等復雜運動。
1、典型應用
品圓檢測與量測
硅片對準與定位
顯微操作
視覺伺服
大視場成像
半導體封裝。
芯片與器件測試
光學對準與操作
MEMS制造與檢測
激光加工
2、技術特點
高精度:音圈電機具有較高的定位精度和重復定位精度，可以滿足高精度應用的需求。
高響應速度:音圈電機的響應速度快，可以快速響應控制信號，實現快速運動。
高可靠性:音圈電機的結構簡單，故障率低，具有較高的可靠性。
低噪音:音圈電機的運行噪音低，適合在需要低噪音的場合使用。
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC-UVZ-10B | ||
運動軸 | θx,θY,Z | |
驅動類型 | 音圈電機 | |
θx/θY偏轉角度 | ±12.5 | mrad |
Z閉環行程 | 3 | mm |
θx/θY重復定位精度 | 15 | μrad |
Z向重復定位精度 | 15 | nm |
豎直大負載 | 1 | kg |
整定時間 | ≤100 | ms |
無負載諧振頻率 | 160 | HZ |
傳感器類型 | 光柵編碼器 | |
自重 | 8 | kg |
尺寸(LxWxH) | φ280x72 | mm |
工作溫度 | -20-100 | ℃ |
電氣接口 | D-sub9(可定制) | |
線纜長度 | 2 | m |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
5、適配控制器
