單軸長行程壓電滑臺
單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復合納米運動技術，具有數厘米級行程和納米級運動精度。
1、典型應用
掃描電鏡(SEM)樣品操縱
主動光學
超分辨成像樣品移動
大范圍電子束直寫(EBL
微納裝備及制造
集成電路制造與檢測
高真空樣品精度對準及調姿
納米聚焦與掃描
顯微及納米CT
2、技術特點
長行程:10/20mm
高分辨率:傳感器分辨率為1.22nm
超高精度:最小步長2nm
運動速度:可達5mm/s
超高真空兼容性
運動模式:支持開環與閉環
輕量化、結構緊湊，高可靠性
模塊化設計，摩擦單元可替換
高穩定性:保持力可達5N
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC-NL-1720 | JKZC-NL-1720 | 單位 | |
運動軸數 | 1 | ||
行程 | 10 | 20 | mm |
保持力(Force) | 1.5 | 1.5 | N |
承載力(Load) | 20(垂直方向) | 20(垂直方向) | N |
尺寸(LxWxH) | 22x23x10.5 | 30x23x10.5 | mm |
自重 | 165 | 260 | g |
速度 | 5 | mm/s | |
分辨率 | 1.22 | nm | |
最小步長 | 2 | um | |
傳感器類型 | 光柵編碼器(玻璃柵尺) | ||
電氣接口 | D-sub9(可定制) | ||
線纜長度 | 2 | m | |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | ||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
5、適配控制器
