JKZC-TM-350六自由度調臺
六自由度調臺可實現多自由度運動，動態范圍大，重載穩定性強，任意指定轉動中心，可滿足各種工業需求，適應大氣和真空環境。廣泛應用于顯微操縱、生物技術、半導體制造等。
1、典型應用
半導體封測
主動光學
生物技術
視覺裝配
顯微操縱
光纖校準
2、技術特點
亞納米級定位穩定性
納米級閉環運動分辨力
無摩擦柔性鉸鏈導向
大負載
空間多自由度
各級真空兼容性
3、2D尺寸圖
4、規格參數
支持非標定制 | JKZC-TM-350 | 單位 |
運動軸 | X,Y,Z,θX,θY,θZ | |
傳感器類型 | 式圓光柵 | |
驅動類型 | 直流無刷電機 | |
X/Y/Z閉環行程 | ±50/±50/±25 | mm |
θX/θY/θZ閉環行程 | ±12.5/±12.5/±25 | |
X/Y/Z位移分辨率 | 0.5 | μm |
θX/θY/θZ位移分辨率 | 3.5 | μrad |
X/Y/Z重復定位精度@200kg負載 | ±1.5 | μm |
θX/θY/θZ重復定位精度@200kg負載 | ±2 | μrad |
水平方向承載能力 | 300 | kg |
任意方向承載能力 | 50 | kg |
材料 | 鋁合金 | |
工作溫度 | 0-50 | ℃ |
尺寸 | φ450x350 | mm |
5、適配控制器
