Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執行器實現超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統實現閉環控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態軌跡掃搭功能。
1、典型應用
光學對準
納米壓印
顯微成像/操縱
光柵刻寫
雙光子聚合
光學移相
晶圓檢測
表面檢測
測量技術
半導體加工
2、技術特點
超高定位精度
高動態
無摩擦柔性較鏈導向
超高真空兼容性
多運動模式:定位/掃描
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC-ST-Z-50 | 單位 | |
運動觸數 | 1 | |
驅動類型 | 壓電陶瓷 | |
閉環行程 | 50 | μm |
分辨率 | 0.35 | nm |
定位精座 | 5 | nm |
無負載諧振頻率 | 500 | Hz |
大負載 | 0.5/1/5/定制 | kg |
傳感器類型 | 電容傳感器 | |
尺寸(LxWxH) | 55x45x18.3 | mm |
白重 | 208 | g |
電氣接口 | D-sub9/可定制 | |
工作泗度 | -20-80 | ℃ |
屏蔽線纜長度 | 2 | m |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
*真空版型號:JKZC-ST-X-100-HV
5、適配控制器
