JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺
五軸重載荷壓電平臺基于微納柔性機構和壓電執行器實現超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統實現閉環控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態軌跡掃描功能。
1、典型應用
大口徑鏡頭測量
大型光機系統對準
大幅面干涉測量
鏡組準直與穩定
納米壓印
顯微成像/操縱
測量技術
集成電路檢測
半導體加工
2、技術特點
亞納米級定位穩定性
納米級閉環運動分辨力
無摩擦柔性較鏈導向
大負載
空間多白由度
各級真空兼容性
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC-ST-FA" | 單位 | |
運動軸 | X,Y,Z, θx,θY, θZ | |
傳感器類型 | 電容式位移傳感器 | |
驅動類型 | 壓電陶瓷 | |
XY/Z閉環行程 | 100/100/40 | μm |
θx/θY閉環行程 | ±150/±150 | μrad |
X/Y分辨率 | <2 | nm |
Z分辨率 | <1 | nm |
θX/θY分辨率 | <20 | nrad |
X/Y/Z線性度 | 0.03% | |
X/Y/Z重復定位精度 | <10 | nm |
θX/θY重復定位精度 | 0.1 | μrad |
平臺噪聲 | <2 | nm |
大承載能力 | 35(另有50/100/150/200可選) | kg |
Z諾振頻率@35kg | >100 | HZ |
θx/θY諧擬頻率@35kg | >100 | HZ |
帶載高工作頻率 | 10 | HZ |
材料 | 鋁合金/鈦合金。 | |
自重 | 12 | kg |
工作溫度 | 0-50 | ℃ |
尺寸(LxWxH) | φ475x103中空φ360 | mm |
5、適配控制器
