JKZC-ST-6CD六軸納米掃描臺
JKZC-ST-6CD六軸納米掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
1、典型應(yīng)用
掃描顯微鏡
生物技術(shù)
顯微成像/操縱
干涉測量
超分辨率顯微鏡
掩模/晶圓定位
計量
2、技術(shù)特點
亞納米級分辨率
超高定位精度
無摩擦柔性鉸鏈導向
超高真空兼容性
高速、高動態(tài)
多運動模式:定位/掃描
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-ST-6CD | 單位 | |
運動軸 | X,Y,Zθx,θY，θZ | |
驅(qū)動類型 | 壓電陶瓷 | |
XY/Z向上的閉環(huán)行程 | 200/200/200 | μm |
θx/θv/θZ向上的閉環(huán)行程 | 土0.5/土0.5/土0.5 | mrad |
X/Y/Z向上的閉環(huán)分辨率 | 1/1/1 | nm |
θx/θY/θZ向上的閉環(huán)分辨率 | 0.1/0.1/0.1 | μrad |
X/Y/Z向上的線性誤差 | 0.01 | % |
θx/θV/θZ向上的線性誤差 | 0.1 | % |
X/Y/Z向上的重復定位精度 | 5/5/5 | nm |
θx/θY/θZ向上的重復定位精度 | 士0.1/士0.1/士0.15 | μrad |
平面度 | 15 | nm |
X/Y/Z向上的空載諧報頻率 | 110/110/200 | HZ |
大負載 | 5 | Kg |
傳感器類型 | 電容傳感器 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
*真空版型號:JKZC-ST-6CD-HV
5、適配控制器
