JKZC-OL-Z物鏡壓電納米平臺基于微納柔性機構和壓電執行器實現超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統實現閉環控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態軌跡掃描功能。
1、典型應用
超分辨率顯微微調
振動臺
顯微成像/操縱
壓電微位移
3D成像
干涉測量
生物技術
半導體測試
2、技術特點：
亞納米級分辨率
超高定位精度
無摩擦柔性較鏈導向
超高真空兼容性
高速、高動態
多運動模式：定位/掃描
3、規格參數
JKZC-OL-Z-100 | JKZC-OL-Z-200 | 單位 | |
運動觸數 | 1 | ||
驅動類型 | 壓電陶瓷 | ||
閉環行程 | 100 | 200 | μm |
閉環分辨率 | 1 | nm | |
最小步長 | 2 | nm | |
無負載諧振頻率 | 560 | 750 | Hz |
大負載 | 200 | g | |
傳感器類型 | 電容傳感器 | ||
尺寸(LxWxH) | 69.7x46x41 | 71.5x55x41 | mm |
白重 | 90 | 258 | g |
電氣接口 | D-sub9/可定制 | ||
工作泗度 | -20-80 | ℃ | |
屏蔽線纜長度 | 2 | m | |
材料 | 鋁合金 | ||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
真空版型號:NP-OL-Z-HV
適配控制器
