JKZC-NHR高精度角度臺
JKZC-NHR高精度角度臺專用10°范圍內高分辨率θ定位移動，基于粘滑仿生運動原理及特殊設計的驅動和納米伺服技術，具有納米級重復定位精度，可實現運動行程士5°的俯仰調節。
1、典型應用
掃描電鏡(SEM)樣品操縱
主動光學
超分辨成像樣品移動
大范圍電子束直寫(EBL)
微納裝備及制造
集成電路制造與檢測
高真空樣品精度對準及調姿
納米聚焦與掃描
顯微及納米CT
2、技術特點
超長運動行程：士5°
高分辨率：閉環分辨率為0.0175μrad
運動速度：可達3°/s
負載：500g
超高真空兼容性
運動模式：支持開環與閉環
輕量化、結構緊湊，高可靠性
模塊化設計，摩擦單元可替換
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC-NHR-60.5* | JKZC-NHR-77.5* | 單位 | |
傳感器類型 | 光柵編碼器(玻璃柵尺 | ||
行程 | ±5 | ° | |
大負載 | 500 | g | |
旋轉中心(工作平臺) | 60.5 | 77.5 | mm |
驅動類型 | 壓電陶瓷 | ||
角速度 | 3 | °/S | |
最小步長 | 0.5 | μrad | |
自重 | 150 | 150 | g |
尺寸(LxWxH) | 50x50x16.5 | 50x50x16.5 | mm |
工作溫度 | 10~50 | ℃ | |
電氣接口 | D-sub9 | ||
線纜長度 | 2 | m | |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | ||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10-9) | mbar |
5、適配控制器
