JKZC-CS-64 Tripod
JKZC-CS Tripod為適應緊湊及模塊化的多軸運動系統，采用精密粘滑式壓電驅動，并聯剛柔耦合機構，在保證工作空間內高剛度的基礎上，提供超精密的連續偏擺與升降。
1、典型應用
樣品檢驗
精密微組裝
光路切換
顯微及納米CT
機器視覺
半導體檢測
2、技術特點
高精度、高穩定性
串并混聯優化
空間精密調姿
緊湊化/輕量化/模塊化設計
3、2D尺寸圖
規格參數
JKZC-CS-64 | 單位 | |
運動軸 | Z,θx,θY | |
傳感器類型 | 光柵編碼器 | |
驅動類型 | 壓電陶瓷 | |
Z向行程 | ±2 | mm |
θx,θY行程 | ±2,±2 | |
Z向重復定位精度 | 500 | nm |
θx,θY重復定位精度 | 10,10 | μrad |
Z向大速度 | 4 | mm/s |
θx,θY大速度 | 1.5 | °/s |
中心負載能力 | 3 | N |
自重 | 1 | kg |
尺寸(LxWxH) | 150x125x64 | mm |
工作溫度 | 10-50 | ℃ |
電氣接口 | D-sub9 | |
屏蔽線纜長度 | 2 | m |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10-9) | mbar |
4、適配控制器
