JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺
JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動,通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制,具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。

1、典型應(yīng)用
光學(xué)對準(zhǔn)
納米壓印
顯微成像/操縱
表面檢測
高密度存儲
測量技術(shù)
半導(dǎo)體加工
2、技術(shù)特點
亞納米級分辨率
超高定位精度
無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向
可正置/倒置
超高真空兼容性
高速、高動態(tài)
多運動模式:定位/掃描
3、2D尺寸圖


4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-3CD-300 | 單位 | |
運動觸數(shù) | 3 | |
驅(qū)動類型 | 壓電陶瓷 | |
閉環(huán)行程 | 300x300x300 | μm |
閉環(huán)分辨率 | 2 | nm |
重復(fù)定位精度 | 10 | nm |
XY/Z向上的無負(fù)載諧頻率 | 600/600/550 | Hz |
大負(fù)載 | 40 | g |
傳感器類型 | 電容傳感器 | |
尺寸(LxWxH) | 170x170x36.5 | mm |
白重 | 1778 | g |
電氣接口 | D-sub9/可定制 | |
工作泗度 | -20-80 | ℃ |
屏蔽線纜長度 | 2 | m |
材料 | 鋁合金 |
5、適配控制器


















