| 類型 | 白光干涉儀 | 品牌 | 臺智 |
| 型號 | 1510 | 品種 | 其他干涉儀 |
| 測量范圍 | 400um | 用途 | 晶圓,精密機電 |
| 產品特點及用途 |
| 結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡,結合顯微物鏡與干涉儀,不需要復雜光路調整程序、兼顧體積小、納米分辨率、、易學易用等優點、可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量,種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含: |
| ★ 晶圓(Wafer)★ 光盤/硬盤(DVD Disk/Hard Disk)★ 微機電組件(MEMS Components)★ 平面液晶顯示器(LCD)★ 高密度線路印刷電路板(HDI PCB)★ IC封裝(IC Package) 以上其它材料分析與組件微表面研究 |




