儀器特點
| | ◆ 高端配置，精密全自動測量，四軸CNC控制； | | | ◆ 三軸THK精密線性滑軌、精密傳動系統； | | | ◆ Renishaw開放式光柵尺，高、穩定性好； | | | ◆ Navitar自動變倍光學鏡頭，可實現自動變倍測量； | | | ◆ 全鼠標、手柄操作，簡單易用； | | | ◆ 可程控6環8區環形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源； | | | ◆ 自動對焦測高，可加裝接觸式測頭； | | | ◆ Vispec全自動影像測量軟件（高端版）； | | | ◆ 提供多種行程規格配置，如222、322、432、542等。 |
技術參數
| 型號 | VMU222 | VMU322 | VMU432 | VMU542 | 行程(mm) | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | 外部尺寸(mm) | 1200×950×1750 | 1200×950×1750 | 1400×950×1750 | 1600×1150×1750 | 重量(kg) | 240 | 250 | 300 | 380 | 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | 測量 | XY軸* | E2=(2.0+L/300)µm | E2=(2.5+L/300)µm | Z軸** | E1=(5.0+L/200)µm | 速度 | XY軸 | 200mm/S | Z軸 | 100mm/S | 光柵尺 | Renishaw光柵尺，0.4µm分辨率 | CCD | SONY 1/2"CCD 黑白/彩色 | 光源 | 輪廓光 | LED冷光源，256級亮度可調 | 表面光 | 6環8區LED冷光源，各段操控，256級亮度可調 | 同軸光 | LED冷光源，256級亮度可調 | 光學系統*** | Navitar 6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326 | 軟件 | Vispec測量軟件（高端版） | 運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統 | 保修期 | 1年 | 工作環境 | 溫度20℃&plun;2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80% | 振動<0.002g，低于15Hz | 電源 | 220V/50Hz/10A |
| * L表示測量長度，以毫米為單位。** Z軸的機械，聚焦的與工件表面有很大關系。***放大倍率為近似值，具體值與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關。 |
應用行業 機械、電子、模具、注塑、五金、橡膠、低壓電器，磁性材料、精密五金、精密沖壓、接插件、連接器、端子、手機、家電、計算機（電腦）、液晶電視(LCD)、印刷電路板（線路板、PCB）、汽車、器械、鐘表、儀器儀表等。 測量對象 LCD、FPC、PCB、線路板、螺絲、彈簧、鐘表、手表、儀表、接插件（連接器、接線端子）、齒輪、凸輪、螺紋、半徑樣板、螺紋樣板、電線電纜、刀具、軸承、五金件、沖壓件、篩網、試驗篩、水泥篩、網板（鋼網、T模板）等。 測量元素 長度、寬度、高度、孔距、間距、Pin間距、厚度、圓弧、直徑、半徑、槽、角度、R角等。 | 
