一、概述

 1、U21 系列單級減壓器適用于非腐蝕性，腐蝕性，有毒氣體。膜片和閥體的密封采用硬密封的設計,降低泄漏率，同
時提高了安全性和使用壽命。

2、結 構 特 點 Features
u  316L 不銹鋼母體
u  膜片式硬密封，泄漏率低
u  可采用面板安裝和后座安裝
u  壓力表標準連接： 1/4” FSR(M)
     可選：1/4” FSR (F)
u  內部電解拋光
u  高清潔的組裝和包裝將適用于高純潔度的半導體產業
u  使用壽命長
u  100% 氦氣測試
三、工 作 條 件 OpeRating Conditions
u  的入口壓力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
u  出口壓力：0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar),
    0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar),
    0-500 psi (35 bar)
u  溫度： -40℃~74℃(-40℉~165℉)

四、材 質 Materials
u  母體：316L
u  閥座：PCTFE*, Vespel®
u  膜片：316L
u  上蓋：316

五、流 道 表 面 Surface Finish
u   標準：Ra 20μin
u   可選：Ra 10μin
內部容積 Internal Volume
u   4.6 cc

六、功 能 特 性 Functional Performance
u  流量：Cv=0.14
u  母體泄漏率：2x10-8 atm cc/sec He
u  閥座泄漏率：4x10-8 atm cc/sec He
u  設計驗證壓力：額定壓力的 150%
u  設計爆破壓力：額定壓力的 400%

              上海潔安流體科技有限公司  

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