度（包括線性度）

±1.5%滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia

（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1%滿量程（鑒定校準量程）與給定的溫

度與壓力值有聯系。

重復性

±0.5%滿量程

回應時間

實際流速±2%超過滿量程25-100%一般2秒

溫度系數

0.15%滿量程/℃

壓力系數

0.01%滿量程/psi(0.07bar) 

適宜氣體壓力

25 psig(1.73bar)

氣體壓力

1000 psig(70bar)

壓差

GFC17和GFC37 50psi（3.4bar）

GFC47  40 psi（2.7bar）

氣體和周圍溫度

41℉-122℉（5℃-50℃）

流體接觸面材質

A：GFM鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和維托圓環

B：GFM17S，37S，47S，57S，67S和77S不銹鋼系列：316不銹鋼、維

  托圓環、可選氯丁橡膠圓環。

方位靈敏度

水平到垂直旋轉低于15度；標準校準是在水平位置

輸出信號

線性度0-5Vdc,小1000ohms。負載電阻4-20mA 0-500 ohms回路電阻，噪音±20mA

命令信號

0-5 Vdc模擬模式  4-20mA遠程模式

連接

GFC17和37：1/4”卡套螺紋  GFC17可選VCR^®或1/8”卡套螺紋         GFC47：3/8”卡套螺紋

GFC57：3/8”卡套螺紋

GFC67：1/2”卡套螺紋

GC77：3/4”FNPT螺紋可選VCR^®或3/4”卡套螺紋

傳感器輸出電源

+12 Vdc；200ohms。+24Vdc可選

電源保護

電路板有內置電極反轉保護保險絲可以重新調整提供電源輸入保護

顯示

0.5”高，3-1/2數字LCD顯示，

    Aalborg Instruments & Controls, Inc是世界上的氣體質量流量計/控制氣的生產廠家，其產品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學 、石油化工、醫藥、環保等領域。

    AFC型質量流量控制器是為顯示和控制氣體流量而設計的。

在標稱范圍內流量不受溫度和壓力的影響。

設計性能：

技術參數：

1.度: ±1% 滿量程度FS (線性范圍:氣體T=15~25℃,壓力=0.7~4.1bas);±2%F.S (線性范圍:氣體T=5~50℃,壓力=0.35~10.3bars)

2.重復性: ±0.2%F.S

3.時間常數:  AFM系列—300ms

              AFC2600 (Qmax=15sL/min)—300ms

              AFC3600 (Qmax=50sL/min)—600ms

              AFC4600 (Qmax=100sL/min)—600ms

4.響應時間: AFM系列在設置流速(25~100% F.S)的±2%變化值之內的響應時間大約為1秒

5.溫度系數: ±0.1%F.S/℃

6.壓力系數: ±0.01%F.S/psi(0.07bars)

7.氣體壓力: 25 psig(1.73bars)

8.的氣體壓力: 500 psig(34.5bars)max.標準校正壓力為20psig(14bars)進氣口壓力

9.氣體和環境溫度: 5℃~50℃

10.漏率:漏率1*10^-9smL/sec (He)

11.流體接觸材料: 316或416不繡鋼, Viton O型圈,備選O型圈:Neoprene或Kalrez

12.安裝敏感性: 傾斜度不大于±15%,標準校正安裝姿勢為水平位置

13.輸出信號:0~5V (2000Ωmin,負載阻抗);4~20mA(0~500Ω,線圈電阻)線性的直流電信號。的峰值噪音20mV

14.連接口: AFM/AFC2600,AFM/AFC3600 -1/4” compression,fittings, AFM/AFC4600 - 3/8” compression fittings.

          備選1/8” or 3/8” compression fittings or 1/4” VCR® fittings

15.傳感器輸入功率：AFM/AFC2600 ±15 ± 5% Vdc, 80 mA max,1.2W; ±15 ± 5% Vdc, 200 mA max, 3W;

       AFC3600/AFC4600 ±15 ± 5% Vdc, 220 mA max, 3.3W; ±15 ±5% Vdc, 600 mA max, 9W.

16.電路保護：電路具極性方向保護，可更換的保險絲提供電源輸入保護。