| 品牌 | TOKYO KEISO 東京計(jì)裝 | 型號(hào) | P-821 |
| 類型 | 面積式流量計(jì) | 測(cè)量范圍 | 16.667~166.67（m3/h） |
| 等級(jí) | ±5％(F.S.) | 適用介質(zhì) | 氣體(空氣) |
| 工作壓力 | 0.8（MPa） | 工作溫度 | 80（℃） |
概要
適于半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中各種氣體的測(cè)量。
體型小，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的中心設(shè)備。
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
測(cè)量對(duì)象： 氣體（空氣）
測(cè)量范圍： 參照下表
有効刻度范圍： 10比1（部分10比2）
流量指示： ±5％（F.S.）
使用壓力： 0.8MPa*
使用溫度： 80°C
標(biāo)準(zhǔn)材料： 參照下表
標(biāo)準(zhǔn)材料
部品名 | 標(biāo)準(zhǔn)材料 |
本體 | SCS14 |
錐形管 | 耐熱玻璃 |
浮子 | SUS316,玻璃,紅寶石 |
墊圈 | 氟橡膠 |
閥門(mén)軸 | SUS316 |
閥門(mén)配件 | SUS316 |
閥門(mén) | SUS316 |
側(cè)板 | SPCC |
擋板 | 丙烯樹(shù)脂 |
P-821系列標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品規(guī)格表
產(chǎn)品編號(hào) | 流體規(guī)格 | 制作條件 | |||
流體 | 流量范圍 | 流量單位 | 閥門(mén)位置 | 規(guī)格 | |
P-821-A9 | AIR | 1～10 | L/min（nor） | 下 | 1atm、20℃ |
*標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)貨測(cè)試壓力為0.7MPa
