| 品牌 | LINE TECH氣體質量流量控制器 | 型號 | M2030VA質量流量計 |
| 種類 | 流量 | 材料 | 混合物 |
| 材料物理性質 | 半導體 | 材料晶體結構 | 多晶 |
| 制作工藝 | 薄膜 | 輸出信號 | 開關型 |
M2030VA M2030VA質量流量計 LINE TECH質量流量計 氣體質量流量計
LINE TECH自1997年成立后邁進了氣體控制相關技術工程，終于誕生出今天的M系列，MFC/MFM產品。
LINE TECH氣體質量流量控制器和流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。
主要參數：
流量范圍： 10-30(slpm)
響應時間： ≤2
精 度： ≤1%
重 復 性： ±0.25
輸出信號： 0-5vdc或4-20mA
供電電壓： 15-28vdc 350mA
溫度范圍： 0-50℃
漏 率： 1×10負9次方atm.cc/sec
使用范圍： 2-100% for max range
相關型號：
M3030V M3030A M3050V M3050A M3100V M3100A
M2030V M2030A M2050V M2050A M2100V M2100A
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