原理
利用白光干涉測量法的原理，NanoCalc-2000用一個寬光譜的光源來測得不同波長的反射數據，由于反射率n和消光系數k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc-2000根據這一特性來進行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc-2000中，不同類型材料的相應參數通過不同的模型來描述，從而保證了不同類型材料膜厚測量的準確性。
特點
- UV/VIS/NIR高分辨率的配置
- 測量準確度在1nm，在0.1nm
- 可測量4層薄膜的任意3層
- 薄膜測量小可至10nm，可至400um
- 可測量小1nm厚的透明金屬層
- 提供用于復雜外形材料測量的試驗臺及附件
- 對表面缺陷和光滑度不敏感
- 龐大的材質數據庫，保證各種材料的測量
技術參數
