- 品牌/商標：美國SMI
- 企業類型：貿易商
- 原產地：美國
微差壓變送器、全自動透氣性測試儀、YG461/YG461D型數字式織物透氣量儀和透氣量儀專用美國SMI微差壓傳感器，如：SM5470、SM5651/SM5652、SM5852、SM5882等，其中SM5651/SM5652在紡織透氣中的應用性價比非常高。
SM5651/SM5652壓阻式壓力傳感器
SM5651/SM5652為OEM壓力傳感器，完全校準和溫度補償微差壓雙列直插高性能壓力傳感器。
SM5651/SM5652系列為陶瓷基底貼裝高穩定壓阻式壓力傳感器芯片，利用陶瓷基板上的薄膜電阻進行零度校正、零點溫度補償和靈敏度溫度補償。SM5651只能用恒流驅動，一個額外的電阻修剪正?；耐獠坎罘址糯笃鞯妮敵鎏峁┝丝缍刃?。而SM5652在恒壓激勵下對輸出信號很容易進行放大。
SM5651芯片有額外的增益電阻，采用恒流激勵，SM5652采用恒壓激勵。
特點 應用
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微壓0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi 恒流或恒壓激勵 溫度補償范圍寬（0 跨度校準正高達±2% 零點校準及溫度補償 高性能、穩定的硅芯片封裝 表壓和差壓配置 |
醫療設備 呼吸機、麻醉機和監護儀 HVAC（空調） 水平監測 流量測量 工業控制 微差壓變送器 |
性能參數
測試的條件是：SM5651激勵電流源為1.5mA，室溫為
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小值 |
典型值 |
值 |
單位 |
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激勵源 |
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激勵電壓源 DC（SM5652） |
>0 |
10.00 |
20.00 |
V |
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激勵電流源 DC（SM5651） |
>0 |
1.50 |
3.00 |
mA |
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滿量程輸出 |
| |||
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SM5651滿量程輸出 |
25.0 |
45.0 |
75.0 |
mV |
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SM5652滿量程輸出 |
24.5 |
25.0 |
25.5 |
mV |
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零點輸出 |
-2.00 |
+0.20 |
2.00 |
mV |
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溫度系數 |
| |||
|
滿量程溫度系數 |
-0.65 |
+0.20 |
0.65 |
%FS |
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零點溫度系數 |
-1.00 |
+0.20 |
1.00 |
%FS |
|
溫度遲滯性 |
-0.30 |
+0.05 |
0.30 |
%FS |
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準確度 |
| |||
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線性度（非線性誤差） |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
|
重復性 |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
|
壓力遲滯性 |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
|
靈敏度匹配性 |
-2.0 |
-0.2 |
+2.0 |
%FS |
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阻抗（SM5651） |
| |||
|
輸入阻抗 |
1.80 |
3.00 |
3.80 |
kΩ |
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輸出阻抗 |
2.70 |
3.30 |
3.80 |
kΩ |
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阻抗（SM5652） |
|
|
|
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|
輸入阻抗 |
4.50 |
8.00 |
25.00 |
kΩ |
|
輸出阻抗 |
2.00 |
2.50 |
3.80 |
kΩ |
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溫度范圍 |
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補償溫度 |
+0 |
|
+60 |
℃ |
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工作溫度 |
-40 |
|
+125 |
℃ |
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存儲溫度 |
-40 |
|
+125 |
℃ |
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動力特性 |
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耐壓 |
10ⅹ |
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Rated FS |
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爆破壓力 |
15ⅹ |
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Rated FS |
備注：
1、正壓指的是從晶圓底部進入；增益，在工廠校準使用的是負壓
2、對于SM5652,量程為0.15psi的滿量程輸出是23.75mV(小)至26.25（）
3、測量溫度超過22~
對于量程為0.15psi，滿量程溫度系數為±2%FS；零點溫度系數為±2%FS；對于量程為0.3psi，滿量程溫度系數為±0.75%FS
4、對于量程為0.3psi，遲滯性為±0.45%FS；對于量程為0.15psi，遲滯性為±0.65%FS
5、直線擬合，是從晶圓頂部測量的
對于量程為0.3psi，線性度為±0.5%FS；對于量程為0.15psi，線性度為±2.5%FS
6、靈敏度匹配指的是部分與部分匹配的程度，對于量程為0.15psi，靈敏度匹配性為5.0%FS
