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三維沖撞儀隨著工業自動化水平的不斷發展，產品質量監測、控制手段已經成為保證產品質量標的不可缺少的一環。許多對裝配有較高要求的產品容感式加速度傳感器內部也存在一個質量塊，從單個單元來看，它是標準的平板電容器，加速度的變化帶動活動質量塊的移動從而改變平板電容兩極的間距和正對面積，通過測量電容變化量來計算加速度。而熱感式加速度傳感器內部沒有任何質量塊，它的中央有一個加熱體，周邊是溫度傳感器，里面是密閉的氣腔，工作時在加熱體的作用下，氣體在內部形成一個熱氣團，熱氣團的比重和周圍的冷氣是有差異的，通過慣性熱氣團的移動形成的熱場變化讓感應器感應到加速度值。由于壓電式加速度傳感器內部有剛體支撐的存在，通常情況下，壓電式加速度傳感器只能感應到"動"加速度，而不能感應到"靜態"加速度，也就是我們所說的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應"動"加速度，又能感應"靜態"加速度。由于沒有任何移動部件，而且采用了微機械加工技術，熱感式加速度傳感器的研發過程中解決了很多加工上的難題。目前已經實現生產成本低，抗沖擊能力強，而且可靠性好，失效率低于10ppm。 熱感式加速度傳感器體積小，低功耗，工作電流應在2mA以下，主芯片接口具備標準的數字接口模式。可以提供兩個方向的加速度值，采用兩片即可實現三維加速度值測量。
