該型號單道掃描等離子發射光譜儀的部分是高分辯率Czerny Turner單色儀光學系統。它配有3600刻線/mm或者4320刻線/mm的全息光柵，窄的入射狹縫及出射狹縫, 具有很高的分辯率和極低的雜散光，保證了系統在分析復雜基體樣品時，受光譜疊加的影響減到小。采用直接驅動裝置傳動光柵，保證了極快的分析速度和好的重現性。采用40.68MHZ RF發生器以保證高的信號背景比（S/B）和很低的檢出限。采用新技術設計了優良的檢測系統，保證了分析質量的可靠。以上這些特點使DGS-Ⅲ 在等離子體發射光譜分析中具有非常好的檢出限和任意選擇分析元素的靈活性。從而可分析各種物資材料的樣品成分, 特別在各種高純材料及高純稀土的雜質成分分析方面更具有優勢。該儀器在分析指標、穩定性、分析速度、軟件等各方面的技術指標均達到國際先進水平。

ICP電感耦合等離子體發射光譜儀作為一種大型精密無機分析儀器，可測定各種物質中從微量到常量的七十多種元素(如Mn、P、Si、Cr、Ni、Cu、Mo、Ti、Zn、Al、Au、Ag、Fe、Co)等的定量分析.廣泛應用于稀土分析、貴金屬分析、合金材料、電子產品、醫藥衛生、冶金、地質、石油、化工、商檢、環保等部門和釹鐵硼、硅、硅鐵、鎢、鉬等領域需要檢測元素的定量分析及各種高純材料的雜質成份分析.儀器性能達到JJG768-2005A類標準(中華人民共和國國家發射光譜儀計量檢定規程),綜合性能達到國際同類儀器的先進水平.

1. DGS-Ⅲ單道掃描等離子光譜儀技術指標
1) 波長檢測范圍 190-520nm
2) 波長示值誤差（理論與實際誤差） <±0.03nm
3) 波長掃描重復性極差 <±0.003nm
4) 儀器分辨率
 Mn 257.610nm <0.008nm
 Fe 310.030nm <0.007nm
四鐵光譜線( 309.990nm 309.997nm 310.030nm 310.067nm)
可分辨。
2. 儀器穩定指標
1) 儀器重復性（10次測量短期穩定性） <1.5%
2) 儀器穩定性（2小時長期穩定性） <2.0%
儀器所有技術指標全部優于JJG768-2005發射光譜儀國家計量檢定規程對A類儀器的檢定要求。

DGS-III型單道掃描光譜儀特點:
 單道順序掃描單色儀:設計為C-T型單色儀,焦距為1000mm.由于采用大面積光柵,光學系統具有極高的光通量,這種系統具有極高的信背比(SBR)和光譜分辨率.使儀器的光路譜線清晰,雜散光低,檢出限大為改善.保證了該系統在分析復雜樣品時獲得可靠數據.
 色散元件;采用3600gr/mm的大面積(110mmX80mm)離子刻蝕閃耀全息光柵.
 波長范圍:190-520nm;
 優良的分辨率: ≤0.008mm
 采用40.68MH的RF發生器;輸出功率:600W----1200W連續可調.
 輸出功率穩定度: ≤0.1%.
 有安全保護系統監控水路,氣路及抽風的工作狀態,保證儀器的安全運行.
 可測定譜線與背景強度,提高痕量元素的測定精密度和準確度;
 測定每一個元素可同時選用多條譜線;
 全中文軟件,方便用戶使用儀器;
 容易操作,分析快速,結果準確;