儀器簡介：
技術參數：
真空紫外光柵光譜儀
該系列光柵光譜儀主要應用于大約30nm至可見光區波段，部分型號的儀器可以將應用范圍擴展到紅外波段。光路設計主要以標準/改良型Czerny-Turner型、正入射型、Seya Namioka型為主，針對不同的實驗需求做設計上的優化。
除主機部分外，還提供各種周邊附件，以構成各種完整的測量系統。
技術參數：
| 波長范圍 | 光譜 分辨率 | 焦距長度 | 產品型號 | 掃描 功能 | 多道探測功能 | 光路結構 |
| 30nm to 550nm | 0.1nm | 200mm | 234/302 | 有 | 有 | Corrected Concave Holographic |
| 105nm to 78µm | 0.06nm | 300mm | 218 | 有 | 有 | Criss Cross Czerny Turner |
| 105nm to 78µm | 0.04nm | 500mm | 219 | 有 | 有 | Corrected Czerny Turner |
| 30nm to 1200nm | 0.04nm | 500mm | 235 | 有 | 有 | Seya Namioka |
| 105nm to 78µm | 0.03nm | 670mm | 207V | 有 | 有 | Czerny Turner |
| 105nm to 78µm | 0.017nm | 1000mm | 2061V | 有 | 有 | Czerny Turner |
| 30nm to 1200nm | 0.015nm | 1000mm | 225 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | 0.025nm | 1000mm | 231 | 有 | 有 | Seya Namioka |
| 105nm to 78µm | 0.012nm | 1330mm | 209V | 有 | 有 | Czerny Turner |
| 30nm to 1200nm | 0.007nm | 2000mm | 2252 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | 0.005nm | 3000mm | 2253 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | <0.003nm | 5000mm | 2255 | 有 | 有 | Autofocus Normal Incidence |
| 30nm to 1200nm | <0.0025 | 6500mm | 265 | 有 | 有 | Off Plane Eagle Normal Incidence |
