技術參數：
1.電子槍：高亮度、方便維護的鎢燈絲電子槍
2.分辨率:
二次電子:
高真空模式 3.0nm @ 30kV; 8nm @ 3kV
高真空減速模式 7nm @ 3kV (可選項)
低真空模式 3.0nm @ 30kV; 10nm @ 3kV
背散射電子:
4.0nm @ 30kV
3.加速電壓：200 V - 30 kV, 連續可調
4.探測器：E-T二次電子探測器，可選背散射探測器
5. 50x50mm 4軸馬達驅動全對中樣品臺
主要特點：
1.分子泵真空系統
2.高穩定性、高亮度鎢燈絲電子槍，滿足高分辨觀察和微觀分析的要求
3.FEI獨特的LFD低真空二次電子探測器
4.可同時安裝能譜儀、波譜儀和EBSP系統
5.基于Windows XP的圖形用戶界面, 簡單易用
