儀器簡介：
主要特點：
• 場發射 SEM、超穩定高電流 Schottky 電子槍
• 先進的光學和探測技術，包括沉浸模式、射束減速、透鏡內 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM，可實現信息選擇和圖像優化
• 低至 50 V 的射束著陸能量
• 1.4 nm @ 1 kV、無射束減速
• 真正高分辨率的低真空 FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa
• 高達 200 nA 的高真空或低真空分析
• 整合式 16 位掃描/制圖引擎
• 超潔凈、無油滾動和渦輪抽氣真空系統
• 150 x 150 mm 高精密、高穩定壓電樣品臺 (Nova NanoSEM 650)
Nova 系列掃描電子顯微鏡 (SEM) 具有低真空功能，是滿足研究實驗室、半導體和數據存儲實驗室和制造工廠、生物和生命科學實驗室及其他行業各種成像、分析和樣品制備需求的理想之選。 Nova 系統包含 EBIC、冷凍樣品臺、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。
技術參數：
| 分辨率 高真空 | 30 kV (STEM) 15 kV (TLD) 1 kV (TLD、無 BD) 100 V (DBS) 15 kV, 5 nA | 0.8 nm 1.0 nm 1.4 nm 3.5 nm 3.0 nm |
| 分辨率 低真空 | 3 kV 和 30 Pa (Helix) 10 kV | 1.8 nm 1.5 nm |
| 射束電流 | 高達 200 nA | |
| 著陸電壓范圍 | 50 V - 30 kV | |
| 樣品臺 | X x Y x Z (mm) | 110 x 110 x 25 150 x 150 x 10 |
| 機室 | 大試件室 | |
| 探測 | 透鏡內 透鏡下、大角度探測器 | TLD SE 和 BSE 高靈敏度 DBS (SE/BSE) |
主要特點：
• 場發射 SEM、超穩定高電流 Schottky 電子槍
• 先進的光學和探測技術，包括沉浸模式、射束減速、透鏡內 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM，可實現信息選擇和圖像優化
• 低至 50 V 的射束著陸能量
• 1.4 nm @ 1 kV、無射束減速
• 真正高分辨率的低真空 FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa
• 高達 200 nA 的高真空或低真空分析
• 整合式 16 位掃描/制圖引擎
• 超潔凈、無油滾動和渦輪抽氣真空系統
• 150 x 150 mm 高精密、高穩定壓電樣品臺 (Nova NanoSEM 650)
