AURIGA  基本參數

分辨率

         SEM

           FIB

GEMINI column

1.0   nm @ 15 kV

1.9 nm @  1kV

Cobra column: 2.5 nm @ 30kV

Canion column: 7nm@ 30kV

放大倍數

  12x – 1000 kx

   300x – 500 kx

束流

 4pA – 20 nA (80nm 可選)

   1 pA – 50 nA

加速電壓

  0.1 － 30 kV

   1.0 – 30 kV

發射器

 熱場(Schottky)

 Ga 離子源（LMIS）

氣體注入器系統

a)       5個（Pt,C,W, 碘，絕緣體,氟化物等）

b)      4個＋局部電荷中和器（可使用所有的標準探測器）

c)      一個

d)      在使用局部電荷中和器時，可使用所有的標準探測器

 樣品臺

 6 軸超優中心馬達臺

 移動范圍

         X,Y ＝ 100 mm

         Z   ＝ 55 mm

         Z”  ＝ 10 mm

         傾斜＝ -10 － 60度，旋轉＝360度 連續

         AWD(分析工作距離)＝5－8.5 mm

 樣品交換室

 80 mm / 100 mm 手動樣品交換

 探測器

 高效環形 In-lens 二次電子探測器

 Everhart-Thornley二次電子探測器

 鏡筒內置式 EsB背散射電子探測器（帶0－1500V過濾網）

 二次離子探測器（SESI）

 固體背散射電子探測器

 BF/DF STEM探測器

樣品室

 330 mm(直徑)，266 mm(高)

 15個接口可安裝 STEM,4QBSD,EBSD,EDS,WDS,SIMS,GIS系統，局部電荷中和器等

2個觀察用CCD.

操作顯示系統

基于Windows操作系統上的SmartSEM操作界面。

由鼠標，鍵盤，操作桿控制或控制板（可選）