儀器簡(jiǎn)介：
德國(guó)Kleindiek Nanotechnik超微操縱儀的驅(qū)動(dòng)單元是由壓電陶瓷構(gòu)成的納米馬達(dá)，因此它的特點(diǎn)是能夠進(jìn)行納米級(jí)移動(dòng)，在保證納米級(jí)移動(dòng)的同時(shí)其的設(shè)計(jì)可以同時(shí)做到毫米級(jí)的移動(dòng)范圍，整個(gè)操縱裝置全部由納米馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，從而保證了系統(tǒng)體積非常小，可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內(nèi)。
德國(guó)Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的納米顯微操縱儀有以下型號(hào)以適用于不同的環(huán)境：
MM3A-LMPMicromanipulator for Light Microscopy
MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy
MM3A-UHV Micromanipulator for UHV
MM3A-LTMicromanipulator for low temperature
德國(guó)Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的納米顯微操縱儀MM3A-EM以其高、超靈活、易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手，改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統(tǒng)，直接在樣品室內(nèi)操縱樣品，由此衍生了許多豐富多彩的應(yīng)用，使得對(duì)樣品的研究更深一步。MM3A的移動(dòng)范圍是三維空間的，X、Y軸可作±120°擺動(dòng)，Z軸可作12mm的伸長(zhǎng)，整個(gè)空間的移動(dòng)范圍達(dá)到100立方厘米。系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)全部由壓電陶瓷來(lái)實(shí)現(xiàn)，由此保證了Z軸每個(gè)步進(jìn)的可達(dá)0.5nm，當(dāng)采用快速移動(dòng)模式時(shí)，速度可達(dá)到2mm/s，可以說(shuō)是同時(shí)兼具了高和高效率，的大行程設(shè)計(jì)，使得Z軸總行程可達(dá)到12mm，納米級(jí)的移動(dòng)、厘米級(jí)的移動(dòng)范圍是MM3A的特點(diǎn)。
MM3A-LS以其高穩(wěn)定性、高、無(wú)漂移的鮮明特性，被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)領(lǐng)域的高靈敏度膜電位測(cè)量領(lǐng)域。衍生產(chǎn)品MM3A-LMP與光學(xué)顯微鏡的結(jié)合，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體的探針系統(tǒng)中，可適應(yīng)45nm、65nm、90nm工藝的要求。
顯微操縱儀的極細(xì)微的漂移都會(huì)影響到細(xì)胞膜電位的測(cè)量，這就要求顯微操縱儀盡量能做到零漂移，德國(guó)Kleindiek Nanotechnik公司生產(chǎn)的MM3A很好地解決了漂移的問(wèn)題，既使是長(zhǎng)時(shí)間的測(cè)量也沒(méi)有漂移的現(xiàn)象。MM3A體積相對(duì)傳統(tǒng)的顯微操縱儀而言小了很多，長(zhǎng)度約60mm重約45g，這種設(shè)計(jì)保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性并降低了系統(tǒng)噪音水平，震動(dòng)幾乎對(duì)MM3A不產(chǎn)生影響。采用磁性基座固定，MM3A可以方便地安裝在載物臺(tái)的任何地方。在操縱儀的前端有叉式的玻璃管夾持器，玻璃管的更換簡(jiǎn)單易操作。
技術(shù)參數(shù)：
MM3A-EM
Length / Width / Height60/22/25 mm
Operating range XY / Z240°/12 mm
Scan range X / Y / Z20/15/1µm
Max Speed XY / Zup to 10/ 2 mm/s
Resolution X10-7 rad (5 nm)
Resolution Y10-7 rad (3.5 nm)
Resolution Z0.25 nm
Hysterisis deviation Z<200 nm
Hysterisis Angle (α) Z<10° (0.2 rad)
Lowest temp273K
Highest temp353K
Lowest pressure10-7 mbar
Holding force1 N
Holding torque3 Nmm - 4 Nmm
Lift Y5g
Signal resistance (probing)7.0Ω
Max voltage (probing)100V
Max current (probing)100 mA
主要特點(diǎn)：
德國(guó)Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的納米顯微操縱儀的突出特點(diǎn)：
納米操縱度：安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X，Y方向小移動(dòng)距離為5nm，在Z方向小移動(dòng)距離為0.5nm。
快慢可調(diào)的操作速度：可以選擇一個(gè)步進(jìn)0.5nm，也可以選擇移動(dòng)速度1cm/S。MM3A將大范圍和超精細(xì)操作完美地結(jié)合在一起。
緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：MM3A體積小，可以很寬松地在電鏡腔室內(nèi)安裝1~8個(gè)系統(tǒng)。
三維大空間操作范圍：X、Y方向可以做240度的旋轉(zhuǎn)，Z軸方向做12mm的伸長(zhǎng)，MM3A可操作的空間范圍達(dá)100cm3。
幾乎無(wú)漂移：我們?cè)?jīng)做過(guò)實(shí)驗(yàn)MM3A鎢探針針尖在場(chǎng)發(fā)射電鏡放大100K條件下每隔一分鐘拍一張照片，持續(xù)一小時(shí)后通過(guò)對(duì)照片的分析得出，在排除電鏡電壓不穩(wěn)定因素外，MM3A幾乎不產(chǎn)生漂移。
與電鏡的連接：MM3A安裝在加工好的平臺(tái)上，該平臺(tái)再固定在電鏡的樣品臺(tái)上，整個(gè)安放過(guò)程十分方便，幾分鐘就可完成，不使用時(shí)將平臺(tái)卸下取出既可。控制線通過(guò)電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封，不會(huì)影響電鏡的真空。
德國(guó)Kleindiek Nanotechnik超微操縱儀的驅(qū)動(dòng)單元是由壓電陶瓷構(gòu)成的納米馬達(dá)，因此它的特點(diǎn)是能夠進(jìn)行納米級(jí)移動(dòng)，在保證納米級(jí)移動(dòng)的同時(shí)其的設(shè)計(jì)可以同時(shí)做到毫米級(jí)的移動(dòng)范圍，整個(gè)操縱裝置全部由納米馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，從而保證了系統(tǒng)體積非常小，可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內(nèi)。
德國(guó)Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的納米顯微操縱儀有以下型號(hào)以適用于不同的環(huán)境：
MM3A-LMPMicromanipulator for Light Microscopy
MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy
MM3A-UHV Micromanipulator for UHV
MM3A-LTMicromanipulator for low temperature
德國(guó)Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的納米顯微操縱儀MM3A-EM以其高、超靈活、易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手，改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統(tǒng)，直接在樣品室內(nèi)操縱樣品，由此衍生了許多豐富多彩的應(yīng)用，使得對(duì)樣品的研究更深一步。MM3A的移動(dòng)范圍是三維空間的，X、Y軸可作±120°擺動(dòng)，Z軸可作12mm的伸長(zhǎng)，整個(gè)空間的移動(dòng)范圍達(dá)到100立方厘米。系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)全部由壓電陶瓷來(lái)實(shí)現(xiàn)，由此保證了Z軸每個(gè)步進(jìn)的可達(dá)0.5nm，當(dāng)采用快速移動(dòng)模式時(shí)，速度可達(dá)到2mm/s，可以說(shuō)是同時(shí)兼具了高和高效率，的大行程設(shè)計(jì)，使得Z軸總行程可達(dá)到12mm，納米級(jí)的移動(dòng)、厘米級(jí)的移動(dòng)范圍是MM3A的特點(diǎn)。
MM3A-LS以其高穩(wěn)定性、高、無(wú)漂移的鮮明特性，被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)領(lǐng)域的高靈敏度膜電位測(cè)量領(lǐng)域。衍生產(chǎn)品MM3A-LMP與光學(xué)顯微鏡的結(jié)合，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體的探針系統(tǒng)中，可適應(yīng)45nm、65nm、90nm工藝的要求。
顯微操縱儀的極細(xì)微的漂移都會(huì)影響到細(xì)胞膜電位的測(cè)量，這就要求顯微操縱儀盡量能做到零漂移，德國(guó)Kleindiek Nanotechnik公司生產(chǎn)的MM3A很好地解決了漂移的問(wèn)題，既使是長(zhǎng)時(shí)間的測(cè)量也沒(méi)有漂移的現(xiàn)象。MM3A體積相對(duì)傳統(tǒng)的顯微操縱儀而言小了很多，長(zhǎng)度約60mm重約45g，這種設(shè)計(jì)保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性并降低了系統(tǒng)噪音水平，震動(dòng)幾乎對(duì)MM3A不產(chǎn)生影響。采用磁性基座固定，MM3A可以方便地安裝在載物臺(tái)的任何地方。在操縱儀的前端有叉式的玻璃管夾持器，玻璃管的更換簡(jiǎn)單易操作。
技術(shù)參數(shù)：
MM3A-EM
Length / Width / Height60/22/25 mm
Operating range XY / Z240°/12 mm
Scan range X / Y / Z20/15/1µm
Max Speed XY / Zup to 10/ 2 mm/s
Resolution X10-7 rad (5 nm)
Resolution Y10-7 rad (3.5 nm)
Resolution Z0.25 nm
Hysterisis deviation Z<200 nm
Hysterisis Angle (α) Z<10° (0.2 rad)
Lowest temp273K
Highest temp353K
Lowest pressure10-7 mbar
Holding force1 N
Holding torque3 Nmm - 4 Nmm
Lift Y5g
Signal resistance (probing)7.0Ω
Max voltage (probing)100V
Max current (probing)100 mA
主要特點(diǎn)：
德國(guó)Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的納米顯微操縱儀的突出特點(diǎn)：
納米操縱度：安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X，Y方向小移動(dòng)距離為5nm，在Z方向小移動(dòng)距離為0.5nm。
快慢可調(diào)的操作速度：可以選擇一個(gè)步進(jìn)0.5nm，也可以選擇移動(dòng)速度1cm/S。MM3A將大范圍和超精細(xì)操作完美地結(jié)合在一起。
緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：MM3A體積小，可以很寬松地在電鏡腔室內(nèi)安裝1~8個(gè)系統(tǒng)。
三維大空間操作范圍：X、Y方向可以做240度的旋轉(zhuǎn)，Z軸方向做12mm的伸長(zhǎng)，MM3A可操作的空間范圍達(dá)100cm3。
幾乎無(wú)漂移：我們?cè)?jīng)做過(guò)實(shí)驗(yàn)MM3A鎢探針針尖在場(chǎng)發(fā)射電鏡放大100K條件下每隔一分鐘拍一張照片，持續(xù)一小時(shí)后通過(guò)對(duì)照片的分析得出，在排除電鏡電壓不穩(wěn)定因素外，MM3A幾乎不產(chǎn)生漂移。
與電鏡的連接：MM3A安裝在加工好的平臺(tái)上，該平臺(tái)再固定在電鏡的樣品臺(tái)上，整個(gè)安放過(guò)程十分方便，幾分鐘就可完成，不使用時(shí)將平臺(tái)卸下取出既可。控制線通過(guò)電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封，不會(huì)影響電鏡的真空。
