| 詳細介紹 | |
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重復:
- 量測速度:60Profiles/s
- 高度量測范圍:5-500um
- 分辨率:0.5um
- 重復誤差:高度小于1.2um,體積小于1%(基于3西格瑪方法)
- XY軸移動范圍:300mm*300mm(auto)
- XY 軸: 0.25um
機器配置:
標準UP3500系統,包括以下部分:
激光測量系統:
- 激光發生系統
- 光學檢測系統
- 電腦控制系統
- 系統安裝備份軟盤
- 標準高度及校驗證書(當地制作,以合當準)

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重復:
機器配置:
標準UP3500系統,包括以下部分:
激光測量系統: