FormtracerExtreme(表面粗糙度/輪

廓測量裝置)CS-5000CNC/CS-H5000CNC

525系列—CNC形狀測量儀

特點

•高測針型CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀／輪廓的測量。

•X1軸和Z2軸的驅動速度分別為40mm/s和200mm/s，可以定位，從而了多重輪廓／多工件測量的效率。

•X1軸和Z1軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實現高分辨率(X1軸分辨率：6.25nm,Z1軸分辨率：4nm/8nm)的輪廓／形狀測量、表面粗糙度的測量和批次測量。

•Z1軸檢測器采用主動控制方式，減少Z1軸動態測力變化的同時擴展了測量范圍。

•Z1軸檢測器集成了碰撞裝置，當儀器主體與工件或夾具發生碰撞時，檢測裝置可以自動停止工作。

•帶有a軸的型號，可以通過電動旋轉X1軸連續測量水平面和傾斜面。

•帶有Y軸工作臺的型號，可沿Y軸進行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。

•提供易于操作的遙控箱，用戶可以通過這兩個操縱桿選擇合適的軸進行移動。在按鍵上標有易于理解的圖形顯示軸的選擇狀態。

•通過U端口與數據處理／分析裝置(選件)進行信息交換。

技術參數:

X1軸

測量范圍:200mm

分辨率:0.00625μm

檢測方法:激光全息光柵尺

驅動速度:40mm/s(CNC模式)

0-40mm/s(操縱桿控制模式)

測量速度:0.02-0.2mm/s(表面粗糙度)

0.02-2mm/s(形狀／輪廓)

移動方向:向前／向后

直線度:(0.1+0.0015L)μm、使用標準測針

(0.2+0.0015L)μm、使用二倍長型測針

直線度:(0.05+0.0003L)μm、使用標準測針

(0.2+0.0015L)μm、使用二倍長型測針

指示(20°C):&plun;(0.3+0.002L)μm

指示(20°C):&plun;(0.16+0.001L)μm

L為驅動長度(mm)

Z1軸

測量范圍:12mm(標準測針)

24mm(二倍長型測針)

分辨率:0.001μm(標準測針)

0.002μm(二倍長型測針)

測針上／下運作:弧形運動

檢測方法:激光全息光柵尺

指示(20°C):&plun;(0.3+I0.02HI)μm

指示(20°C):&plun;(0.07+I0.02HI)μm

H為測量高度(mm)

測力:4mN(標準測針)

0.75mN(二倍長型測針)

跟蹤角度:向上60°、向下60°

(取決于表面粗糙度)

測針針尖:半徑:5μm,角度：40°、鉆石

(球型測針)(半徑:0.25mm,藍寶石)

測針方向:向下

Z2軸(立柱)

測量范圍:300mm(500mm：高立柱型)

分辨率:0.05μm

檢測方法:反射型線性編碼器

驅動速度:200mm/s(CNC模式)

0-50mm/s(操縱桿控制模式)

基座尺寸(WxD):750x600mm

基座材料:花崗巖

尺寸(WxDxH):800x620x1000mm(800x620x1200mm：高立柱型)

重量:240kg(250kg：高立柱型)

*CS-H5000CNC

軟件選件

FORMTRACEPAK

使用該軟件可以控制馬達驅動的Y軸工作臺和旋轉臺選件，從而實現自動測量。使用該軟件還可以進行輪廓評估，這項評估包括對級差，角度，深度，面積和其他基于表面粗糙度數據的特性進行分析。另外，還可以通過設置打印格式建立原始檢測證書，以適應不同的需求。

測針

12AAJ037:標準長度測針(針尖半徑5μm)

12AAD544:標準長度球型測針

12AAD651:用于小孔的標準長度探針

12AAJ039:二倍長型測針(針尖半徑5μm)

12AAD652:用于小孔的標準長度測針

12AAG155:二倍長型測針(針尖半徑2μm)

12AAD653:標準長度離心測針

12AAD546:二倍長球型測針