無需靶鏡的高激光自干涉儀
產品介紹：
傳統的激光干涉儀通常需要在被測目標上設置靶鏡，以反射測量光線，獲得高測量效果。清華大學推出國際光的LY1000非接觸式激光干涉儀，無需反射靶鏡，利用待測物工件自身反射的光線即可實現高的測量
應用場所介紹
除傳統激光干涉儀使用的測量目標外，還適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的測量目標，如液面高度、半導體晶圓位置、微機械位移、材料膨脹系數等
系統特點
1無需靶鏡、非接觸式測量、量測可達5M
2被測物表面反射率無嚴格要求，可測“黑”表面
3采用激光自干涉原理，線性測量可達1*10-6次方
4無外部光學器件、無需調整光路、操作靈活方便
5自動環境補償，測量高
規格參數
激光頭尺寸 265*90*78mm
激光頭重量 4Kg
激光工作波長 1064nm
激光功率 1-5mW
激光光束直徑 3-5mm
工作溫度范圍 0℃-+40℃
系統組成 激光頭、控制箱、補償傳感器、筆記本電腦、連接電纜
激光穩頻 1*10-6
線性測量范圍 5m
線性測量 1*10-6
分辨率 1nm
被測物反射率 10-7——1
測量速度 50mm/s