采用L型移動橋式，由兩到三個高等高塊規穩固支撐Y向槽型導軌，左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動橋，了運動質心，減少了阿貝誤差；
X軸和Z軸均采用精加工及經過表面硬質陽化處理的航空鋁合金；
Y軸采用一體化槽型精密花崗石導軌；
Z軸采用的可調式氣動平衡設計，采用柔性懸掛系統，避免了軸向運動和傳動系統之間的干涉問題，了測量機的和長
期穩定性；
各運動軸均采用直流伺服驅動+增強型同步帶，運動的平衡和準確定位；
三軸均采用預載荷空氣軸承，運動更平穩，導軌受磨損；
三軸均采用高歐洲光學尺，系統解析度可達0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光學尺的變形，在溫度變化時的線性伸縮；
測量機三軸都配置溫度感測器，即時監控溫度變化，自動補償由于溫度變化而引起的誤差。
X軸和Z軸均采用精加工及經過表面硬質陽化處理的航空鋁合金；
Y軸采用一體化槽型精密花崗石導軌；
Z軸采用的可調式氣動平衡設計，采用柔性懸掛系統，避免了軸向運動和傳動系統之間的干涉問題，了測量機的和長
期穩定性；
各運動軸均采用直流伺服驅動+增強型同步帶，運動的平衡和準確定位；
三軸均采用預載荷空氣軸承，運動更平穩，導軌受磨損；
三軸均采用高歐洲光學尺，系統解析度可達0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光學尺的變形，在溫度變化時的線性伸縮；
測量機三軸都配置溫度感測器，即時監控溫度變化，自動補償由于溫度變化而引起的誤差。
