- 產品品牌：
- 美國 INFICON石英晶體膜厚控制儀
- 產品型號：
- MDC360
- 產品用途：
- 半導體，平面顯示器，光學元件的制造
- 質保時間：
- 2012-12-25
- 質保時間：
- 2012-12-25
該設備具有功能強大的自我檢測系統，在自動運行模式過程中，即使在感應器晶片失效情況下，仍可在無需人工操作情況下完成預設鍍膜程序。執行運行條件與中止功能可由操作員設定。
•性能
MDC360具有多重性能，只需低成本設備調整即可，具備多種半導體技術和低成本微處理器用途。
•動態檢測更新速率
動態檢測是由0.5至10Hz（赫茲）之間調整，使之達到分辨率及控制。
•優良的圖象顯示
MDC-360配備了256x64像素液晶圖象顯示器，使之具備重要數據的即時顯示，例如速率速率偏差膜厚及功率。
•程序安全
MDC-360配備了密碼編輯功能，以保證已儲存的程序的完整及不被其他人隨意改動。
•運行過程無需人為操作設計
MDC-360已具備真正的全自動運行至程序結束功能，并且具有功能強大的內在監測及超越異常中斷線路，使異常中斷的可能性降至。
•安全故障中止
在運行過程中，如果出現故障MDC360內在檢測證實，運行無法繼續MDC360將中止程序運行并且關閉所有輸出，同時在速率控制錯誤或晶片故障時，MDC360可提供給操作者選擇運行中止。
•保持程序中斷狀態
當MDC360中斷鍍膜運行時，相關的運行信息將被儲存起來，待故障排除后被中止了的鍍膜運行將可繼續進行。
•晶片失效時完成運行
MDC360的內在監測與中止運行功能，是為了保護鍍膜設備安全以及避免設備在運行過程中發生嚴重故障，運行過程中晶片失效屬于例外情況，可以不必中止運行程序，在此狀態下MDC360可以設定為中止運行，但也可設定為轉換備用晶片或時間／功率方式繼續運行。
•高效能系統界面
完全可程序化的獨立的輸入和輸出，使MDC360很容易與鍍膜系統的界面連接，以控制更復雜的運行過程，同時為避免短路故障源極控制輸出是完全獨立絕緣的。MDC360還支持并接收光學膜厚儀的光學膜厚終止信號。
•電源干擾公差
完整的RFI濾波器與大容量的電容器將可容許至700ms（毫秒）以下的電源中斷及高強度干擾而繼續工作。
•國際標準電源接頭
電源接頭是經過國際及符合IEC（國際電器技術協會）標準，輸入電源可選擇100至240伏，50或60赫茲并配備了高性能RFI干擾過濾器。
•現場性能提升
插入式界面板和選項板可以使基礎設備個體在工作現場升級至系統別。
北京利方達真空技術有限責任公司
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