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儀器適用范圍：
伴隨著半導體工業的發展，我國半導體圓晶生產已從較小的尺寸發展到現在的8英寸（200mm），MA3000就是為了適應大芯片檢測而開發的新產品。MA3000配備反射照明光學系統，反射式暗場和偏光系統，使它可用在相同尺寸的半導體掩模板，液晶基板或其它平面顯示器及各種工業器件的檢驗場合。
儀器特性：
- l 200mmX200mm帶快速離合器大行程載物臺
- l 視場數∮22mm無限遠校正像差超長工作距離平場消色差物鏡
- l 落射光明場、暗場及偏光可快速轉換
- l 機架經計算機《有限元》分析處理，有高穩定性及抗振性
- l 軸承鋼淬火后精密加工的滾柱導軌，使儀器具有穩定的使用及高的可靠性
- l 采用人機工程學的設計理念，調焦手輪前置，使之操作舒適。
高質量的光學系統，確保儀器在對各試樣檢驗時均能獲得良好的成像質量。
無限遠校正像差長距平場消色差物鏡
MA3000配用了本公司新開發的視場數 22mm無限遠校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對各種被檢測的試樣均能獲得優良的成像質量。物鏡的超長工作距離，可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡
在反射照明光路中，明場、暗場和偏光可快速轉換
MA3000配有明場和暗場共用的物鏡，只要拉動拉桿，即可明場暗場轉換；只需插入或拉出起偏器和檢偏器，即可偏光轉換，操作十分方便。
采用完善的柯拉照明系統
MA3000采用完善的柯拉照明系統，在整個視場內照明均勻。
MA3000大平臺工業顯微鏡配套表
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MA3000 |
MA3020 |
附 注 |
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1 |
反射式工業檢驗顯微鏡主機 |
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反射式,手動轉換器,偏光附件 |
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2 |
透反射式工業檢驗顯微鏡主機 |
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透反射式,手動轉換器,偏光附件 |
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3 |
載物臺 |
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200X200行程,有快速離合裝置 |
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4 |
玻璃載物板 |
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200X200 |
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5 |
燈箱組 |
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12V50W反射光用光源 |
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6 |
30°傾斜雙目組 |
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7 |
五孔手動轉換器 |
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兩只裝暗場物鏡的大孔,三個裝明場物鏡的小孔 |
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8 |
4×長距平場物鏡 |
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LPL 4X/0.10 ∞ 工作距離 27.236mm |
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9 |
10×長距平場物鏡 |
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LPL 10X/0.25 ∞ 工作距離 18.48mm |
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10 |
20×長距平場物鏡 |
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LPL 20X/0.40 ∞ 工作距離 8.35mm |
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11 |
40×長距平場物鏡 |
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LPL 40X/0.65 ∞ 工作距離 3.895mm |
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12 |
50×長距平場物鏡 |
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LPL 50X/0.70 ∞ 工作距離 1.95mm |
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13 |
80×長距平場物鏡 |
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LPL 80X/0.80 ∞ 工作距離 0.848mm |
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14 |
10X長距平場暗場物鏡 |
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D LPL 10X/0.25 ∞ 工作距離 18.48mm |
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15 |
20X長距平場暗場物鏡 |
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D LPL 20X/0.40 ∞ 工作距離 8.35mm |
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16 |
40X長距平場暗場物鏡 |
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D LPL 40X/0.65 ∞ 工作距離 3.895mm |
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17 |
50X長距平場暗場物鏡 |
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D LPL 40X/0.70 ∞ 工作距離 1.95mm |
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18 |
80X長距平場暗場物鏡 |
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D LPL 40X/0.80 ∞ 工作距離 0.848mm |
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19 |
4X平場物鏡 |
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PL 4X/0.10 ∞/0.17 |
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20 |
10X平場物鏡 |
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PL 10X/0.25 ∞/0.17 |
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21 |
20X平場物鏡 |
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PL 20X/0.66 ∞/0.17 |
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22 |
40X平場物鏡 |
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● |
PL 4X/0.10 ∞/0.17 |
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23 |
100X平場物鏡 |
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PL 100X/1.25oil ∞/0.17 |
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24 |
10×大視野目鏡 |
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●● |
WF10×-22 |
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25 |
16×大視野目鏡 |
○○ |
○○ |
WF16×-16 |
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26 |
黃、綠、蘭、中性濾色片 |
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各一 |
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27 |
毛玻璃片 |
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28 |
35mm攝影接筒 |
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29 |
2.5X攝影負目鏡 |
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30 |
CCD攝像機接頭 |
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顯微鏡與DV02或視頻攝像機聯接用 | |
