磁控濺射真空鍍膜機其工作原理是在真空狀態下,使用弧光放電和輝光放電的工作原理。在金屬和非金屬的工件表面上鍍制金色的氮化鈦,黑色碳化鈦,七彩的氮氧化鈦等。亦可鍍防腐蝕膜(如AL,Cr不銹鋼及TiN等)和耐磨膜,膜層與基底結合牢固,利用濺射工藝進行鍍膜,可提高膜層的附著力、重復性、致密度、均勻度等特點。適合于塑料制品、陶瓷、樹脂、水晶玻璃制品等、工藝品、塑料手機殼、電子產品、建材等行業,具有很好的發展前景。
振華真空生產的磁控濺射鍍膜機的主機控制采用可編程序控制器(PLC)+觸摸屏(HMI)組合電氣控制系統。全自動控制,配置先進大功率磁控電源,恒流輸出,克服靶中毒。
磁控濺射全自動鍍膜設備技術參數說明
設備型號:ZCK-1200,ZCK-1400,ZCK-1600,ZCK-1800
真空室尺寸:1200×1500,1400×1950,1600×1950,1800×1950
制膜種類:多功能金屬膜、復合膜、透明導電膜、增返射膜、電磁屏蔽膜、裝飾膜等
電源類型:直流磁控電源、中頻磁控電源電源、高壓離子轟擊電源
圓柱靶:直流磁控靶、中頻孿生靶、平面靶
真空室結構:立式雙開門、立式單開門
真空系統:滑閥泵+羅茨泵+擴散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷泵、深冷系統)
充氣系統:質量流量控制儀(1-4路)
極限真空:6×10-4pa(空載、凈室)
抽氣時間:空載大氣抽至5×10-3pa小于15分鐘
工件旋轉方式:6軸/8軸/9軸公自轉/變頻無級調速
控制方式:手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC
備注:真空室尺寸可按客戶產品及特殊工藝要求訂做
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