- 產品品牌：
- aerotech
- 產品型號：
- Xa-1L
- 測量范圍：
- 進口壓力2MPa出口壓力0-0.99 MPa
- 用途：
- 其它
- 結構：
- 單級式
- 適用介質：
- 毒性，腐蝕性，易燃易爆氣體，超高純氣體
- 環境溫度：
- -10~70 ℃
Xa系列氣體減壓器，主要適用于各種流量輸出，可選擇內部電解拋光面，采用硬密封從而減少外漏情況，特別適用于毒性，腐蝕性，易燃易爆氣體以及超高純氣體。Xa系列超精密減壓器設計為半導體制造氣體專用減壓器。在嚴格的工程品質管理下，于超凈環境下制造。外漏率低于：1×10-11Pa.M3/Sec.He，內漏率低于：1×10-12Pa.M3/Sec.He。
