雙面探針臺主要適用于所測樣品需雙面點針的相關電學測試,DPS點針方式為(Up/Down)上下點針;
另外,我公司針對于雙面探針臺點針方式特研發LR系列產品(L/R)左右點針解決方案;
一、基本配置信息
1.探針臺本體
*4"、6"、8"真空吸附卡盤
*滾珠螺桿驅動卡盤裝置
*X,Y 行程:150mm(可根據需求選擇其它范圍)
*精密推拉裝盤裝置
*手動卡盤360度調整
*顯微鏡X,Y,Z平臺移動行程25mm(可根據需求選擇其它范圍)
2.DC 探針座 Probe Head(可選其它或高頻應用探針座)
*外型尺寸:70 x 50mm
*X,Y行程:12mm
*Z行程:8mm
*:1um
*仰角調節裝置
*吸附方式:磁開關吸附(真空吸附可選)
3.率顯微鏡系統(可選其它倍率光學顯微鏡)
*放大倍率 1X-500X
注:可選更率物鏡,如:100X物鏡,即總倍率1000X
*光源光纖傳導:1.5m
*鹵素燈光源:100W或更高
*CCD C-mount國際標準接口
*目鏡:WF10X/24,視場直徑 24mm,矯正色差
*物鏡:10X,20X,50X,100X
*雙目頭:瞳距調節范圍55~75mm
*上主體:分光比為50:50或0:100
*管鏡:1X NUV/VIS
*齊焦距離:95mm;
*調焦機構:調焦行程:52mm
*粗動手輪4mm/轉
*微動手輪0.1mm/轉
*微動手輪 1μm/格
*承載重量:45磅(20.4Kg)
4.CCD 相機
*包括圖像采集卡等
5.探針夾具及電纜線(根據測試需求可選其它配置)
*Tube Holder/1.5m Triax cable/Triax male
6.探針 Probe Tip(可選項)
*1 um 探針
7.真空泵
8.屏蔽箱
9.振桌
10.適配器
11.轉接頭
12.電學測試設備
二、探針座(Prober Head)選擇,可選:直流、高頻、微/大電流、高功率、高電壓等…






