一、ITO鍍膜原理
ITO鍍膜玻璃是采用浮法玻璃基片經(jīng)切割,磨邊,拋光和清洗后,在真空和高溫狀況下通過(guò)磁控濺射在其表面分別沉積二氧化硅和氧化銦錫透明導(dǎo)電膜,作為液晶顯示器件的導(dǎo)電基板。
二、ITO玻璃產(chǎn)品性能
玻璃基片的微觀波紋度
厚度/mm 玻璃基片的微觀波紋度
拋光浮法玻璃特平浮法玻璃普通浮法玻璃
1.10£0.05µm/20mm£0.10µm/20mm£0.15µm/20mm
0.70£0.08µm/20mm£0.13µm/20mm£0.20µm/20mm
0.55£0.10µm/20mm£0.18µm/20mm£0.25µm/20mm
0.50£0.10µm/20mm£0.18µm/20mm£0.25µm/20mm
0.40£0.20µm/20mm£0.25µm/20mm£0.30µm/20mm
ITO導(dǎo)電膜層的性能規(guī)格
規(guī)格方電阻(W/œ)透過(guò)率(%)蝕刻時(shí)間/s 膜厚
150Ω≦150≧87.0≦30 200ű50Å
125Ω≦125≧87.0≦35 200ű50Å
100Ω≦100≧87.0≦40 230ű50Å
80Ω≦80≧86.0≦45 300ű50Å
60Ω≦60≧85.0≦60 350ű50Å
50Ω≦50≧84.0≦65 400ű50Å
40Ω≦40≧82.0≦70 500ű100Å
30Ω≦30≧80.0≦100 650ű100Å
20Ω≦20≧80.0≦140 950ű100Å
15Ω≦15≧85.0≦ű150Å
10Ω≦10≧82.0≦ű200Å
二氧化硅膜厚≧250Å
三、ITO鍍膜產(chǎn)品系列
基片尺寸
14″×16″/14″×14″
300×300mm/300×350mm
300×360mm/370×470mm
(其它尺寸可按客戶要求調(diào)整)
基片厚度
0.4mm~5 mm
四、應(yīng)用范圍
1.LCD行業(yè)用各類TN、STN型ITO導(dǎo)電玻璃
2.觸摸屏行業(yè)用高方阻(200-500Ω/□)ITO玻璃
3.其他各類真空鍍膜產(chǎn)品
應(yīng)用:液晶顯示器(LCD)、觸摸屏(TP)、電致發(fā)光顯示器(ELD)、太陽(yáng)能電池、汽車后視鏡、手機(jī)MP3鏡面屏、各類透明導(dǎo)電膜等。



