技術(shù)特點(diǎn):
優(yōu)質(zhì)加熱絲:KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
熱材料:PMF T2 T3…晶體纖維等
緣子:高純剛玉
端口過渡環(huán):氧化鋁氧化鋯等真空成型。
用途:半導(dǎo)體擴(kuò)散爐燒結(jié)爐等
◆滿足4"-8"立式、臥式晶圓擴(kuò)散爐"
◆完整的產(chǎn)品系列,滿足該產(chǎn)品的
◆替代的材料及制造技術(shù)
◆質(zhì)量技術(shù)指標(biāo)優(yōu)異
◆使用溫度:室溫-1300℃&plun;0.5℃
◆高溫型、普通型、快速升降溫型。
爐體型號(hào):JH300I-XX JH300II-XX JV500I-XX JV500H-XX
爐體口徑:Φ100~Φ300Φ100~Φ300Φ200~Φ500Φ200~Φ500
工作溫度:200℃~1200℃400℃~1300℃200℃~1200℃400℃~1300℃
加熱絲:Fe-Cr-Al-Y,高溫Fe-Cr-Al-Y Fe-Cr-Al-Y,高溫Fe-Cr-Al-Y
按客戶的爐型要求,可內(nèi)襯高純剛玉管或SiC管。
供貨類型:
爐體按結(jié)構(gòu)形式分為:臥式爐體、立式爐體;
按工藝溫度分為:高溫爐體、低溫爐體以及快速升降溫爐體。
提供完整的相關(guān)配件:
■熱偶系列
■真空成型過渡環(huán)、端口
■按客戶要求的各種特異爐體
歡迎索取相應(yīng)詳盡的技術(shù)資料及共研相應(yīng)項(xiàng)目的解決方案。







