直缐度可達10um
X軸6m Y軸0.5m行程
以缐性滑軌架構之定位平臺
良好接地設計雜訊干擾
Z向震動可達奈米等級以下
速度可達5m/s
標準重現1um或以下
位置回饋系統解析度可達50nm
應用
半導體設備
自動化搬送
FPD設備
太陽能制造設備
PCB設備
水刀設備
鉆石切割產業
AOI檢測設備
工具機
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