技術參數
1.激光器系統
激光波長：1064nm
激光平均功率：10W
典型光斑尺寸：35µm
實際切口取決于材料、光學器件和波長
冷卻方式：風冷
對焦方式：計算機程序控制
2.激光束定位系統
激光束運動范圍：60mm X 60mm
重復定位：2µm
定位：&plun;5µm
激光束小步進：0.76µm
3.圖像系統
方式：激光同軸
視場：4-6mm（對角線）
圖像顯示屏：19寸液晶
4.測量系統
激勵方式：電流激勵
恒流源：0.01µA~100mA計算機程控選擇
電阻測量方式：四線制加電流測電壓（可選擇二線制）
直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
調節對象發熱控制：程序可設定
電阻測量：低阻：<0.05%＋0.5%/R（R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%＋0.5%R（R>0.1MΩ）
電阻測量范圍：0.01Ω-10MΩ
電阻測量速度：25µs
直流電壓分辨率：0.16µV（在10mV滿量程條件下）
探針板：44針11通道四線制（可選其它規格）
探針板運動：計算機程序控制
5.計算機及軟件系統
工業控制計算機（雙核），19寸液晶
操作系統：Windows XP
VB平臺開發的可視化應用軟件，界面友好，大
6.分步重復機械運動系統
運動方式：空氣懸浮運動，無摩擦力
運動范圍：290mm*260mm
陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據要求定做）
運動分辨率：1µm
重復：2µm
定位：&plun;15µm
運動速度：500mm/s
7.其它技術指標
供電電壓：220V AC
整機功耗：1000W
1.激光器系統
激光波長：1064nm
激光平均功率：10W
典型光斑尺寸：35µm
實際切口取決于材料、光學器件和波長
冷卻方式：風冷
對焦方式：計算機程序控制
2.激光束定位系統
激光束運動范圍：60mm X 60mm
重復定位：2µm
定位：&plun;5µm
激光束小步進：0.76µm
3.圖像系統
方式：激光同軸
視場：4-6mm（對角線）
圖像顯示屏：19寸液晶
4.測量系統
激勵方式：電流激勵
恒流源：0.01µA~100mA計算機程控選擇
電阻測量方式：四線制加電流測電壓（可選擇二線制）
直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
調節對象發熱控制：程序可設定
電阻測量：低阻：<0.05%＋0.5%/R（R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%＋0.5%R（R>0.1MΩ）
電阻測量范圍：0.01Ω-10MΩ
電阻測量速度：25µs
直流電壓分辨率：0.16µV（在10mV滿量程條件下）
探針板：44針11通道四線制（可選其它規格）
探針板運動：計算機程序控制
5.計算機及軟件系統
工業控制計算機（雙核），19寸液晶
操作系統：Windows XP
VB平臺開發的可視化應用軟件，界面友好，大
6.分步重復機械運動系統
運動方式：空氣懸浮運動，無摩擦力
運動范圍：290mm*260mm
陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據要求定做）
運動分辨率：1µm
重復：2µm
定位：&plun;15µm
運動速度：500mm/s
7.其它技術指標
供電電壓：220V AC
整機功耗：1000W
