設備型號：PE-310
設備主要特點：
緊湊型設計：標準單臺三管（二管，四管可選），減少占地面積。
各種氣體控制流量：數字式MFC的運用，比模擬式的控制，還消除了模擬傳輸的干擾。工藝生產的穩定性。
系統控制：全部件，自動壓力閉環調節系統，控制反應室內真空環境。
高頻電源：高頻電源穩定。
送片方式：高定位和穩定的軟著陸裝置。采用伺服馬達驅動滾軸絲桿，運行平穩，無爬行。推舟速度在5-1000mm/min內無級變化。
封門系統：密封的爐門設計，減少爐內熱量的損失，并減少了溫度恢復時間。與裝載區隔離，裝載區無污染，避免操作人員受有毒氣體的損害。
管路：工藝管路采用閥門管件組成--氣密性好，耐腐蝕，無污染（管路均采用PE級電拋光管路）。
自動裝載機械手（可選）。
設備主要特點：
緊湊型設計：標準單臺三管（二管，四管可選），減少占地面積。
各種氣體控制流量：數字式MFC的運用，比模擬式的控制，還消除了模擬傳輸的干擾。工藝生產的穩定性。
系統控制：全部件，自動壓力閉環調節系統，控制反應室內真空環境。
高頻電源：高頻電源穩定。
送片方式：高定位和穩定的軟著陸裝置。采用伺服馬達驅動滾軸絲桿，運行平穩，無爬行。推舟速度在5-1000mm/min內無級變化。
封門系統：密封的爐門設計，減少爐內熱量的損失，并減少了溫度恢復時間。與裝載區隔離，裝載區無污染，避免操作人員受有毒氣體的損害。
管路：工藝管路采用閥門管件組成--氣密性好，耐腐蝕，無污染（管路均采用PE級電拋光管路）。
自動裝載機械手（可選）。
