單一工作站的通用泄漏/流量檢測
儀器功能:
1.的參數自動調節功能
2.多種檢測方式:
壓力(真空)衰減測試
高流量壓力(真空)衰減測試
高流量差壓(正壓/真空)衰減泄漏率測試
差壓衰減泄漏率測試
雙重壓力(真空)衰減測試
質量流量測試
差分質量流量測試
壓力衰減/質量流量的聯合測試
3.U端口,RS232,以太網紅外接口通訊方式
4.自帶完整的夾具控制系統
主要特點:
99組參數設置
5000組檢測結果儲存能力
性能指標:
壁掛式尺寸:(13.5"h x 11"w x 8.7"d)
重量:26.5磅
臺面式尺寸:(14.3"h x 8.4"w x 14"d)
重量:18磅
流量分辨率:0.001 sccm 或更佳
壓力顯示分辨率:0.001
壓力傳感器分辨率:
滿量程的0.00005%(高于0.4PA)
充氣和穩定過程的壓力顯示分辨率:0.001單位
測試過程的壓力顯示分辨率:0.00001單位(或0.00001psi)





