探針座臺面規格
　　探針臺臺面平整度：5µm.
　　臺面可以同時容納4~6個探針座。
　　卡盤（載物臺）規格
　　4"卡盤，卡盤平整度：5µm，可放置樣品尺寸為4"X4"。
　　卡盤上可根據客戶要求增加信號連接接口，方便與儀器相連
　　卡盤可360度旋轉，方便點測時樣品在X-Y軸向上調平。
　　（注：根據客戶需要可定制為360度旋轉，旋轉角度可微調，微調為0.1度，帶角度鎖定旋鈕）。
　　卡盤X，Y軸調節旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動，移動范圍為4"X4"，移動為10微米，配合針座的移動可以wafer上的die夠準確點測到。
　　
　　顯微鏡
　　規格
　　本顯微鏡為連續變倍，變倍比為6.3：1
　　光學系統內，連續變焦范圍 0.8X〜5X
　　目鏡放大倍率：20X.
　　總倍率：16X-100X
　　雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調節范圍52-75mm
　　環形白色照明光源
　　顯微鏡采用光軸固定。
　　顯微鏡在Z軸向的調節范圍為50.8mm
　　帶C MOUNT，C MOUNT是CCD接口。加上CCD后，配置一臺PC，能夠在PC的顯示器上同步觀察樣品。同時，可以用PC控制CCD進行樣品的相片采集和錄像。
　　
　　探針座：
　　&plun;10Micron
　　牙具 50牙/寸
　　X-Y-Z線性移動范圍 12mmX12mmX12mm
　　磁力底座/磁力翻轉底座
　　特點：簡易小巧，操作方便
　　
　　探針參數：
　　探針分類：軟針及硬針
　　軟針：0.2um/0.7um/1um
　　硬針：5um/10um/15um/20um
　　根據客戶使用要求，可配以針尖為5um的探針
　　探針材質：針桿為鎳，針尖為鎢
　　美國探針，通過SEM（掃描電子顯微鏡檢測）針尖打磨光滑無鱗片狀。