反應(yīng)艙：
　　材料：鋁
　　尺寸：直徑230 x 深度250mm
　　容積：10.4升
　　艙門：裝有可視窗口
　　托盤：訂制
　　真空度測量：
　　皮拉尼真空計（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān)）
　　真空泵：
　　二級旋片式真空泵；3m3每小時。
　　頻射發(fā)生器：
　　0~600W可調(diào)，2.45GHz發(fā)生器
　　控制系統(tǒng)：
　　觸摸屏操作，PLC控制系統(tǒng)
　　PLC可實現(xiàn)下列功能：
　　1、自動控制反應(yīng)過程；
　　2、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程；
　　3、測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標；
　　4、監(jiān)測的運行指標，在設(shè)定范圍之內(nèi)；
　　5、設(shè)定操作、維護。
　　電源：
　　220V AC、50Hz、16A.
　　反應(yīng)氣體：
　　一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）；根據(jù)用戶需要，可擴展
　　氣體輸入：
　　直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar.
　　性能：
　　急停開關(guān)；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE。
　　用途：
　　小型物件的活化、清洗、蝕刻等。
　　
　　可選件：
　　頻射發(fā)生器：100KHz，13.56MHz，可訂制
　　可加裝15m3每小時的真空泵
　　根據(jù)需要，可訂制多個氣體輸入管道
　　根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
　　根據(jù)客戶要求制作的托盤。
　　石英反應(yīng)艙
　　N2 Purge