X軸遇到測量范圍50nm
Y軸遇到測量范圍13nm
測量器分度值:0.01nm
測量臺轉動范圍不限: limit
測量臺刻度盤分度范圍:0°~360°
測量臺刻度盤之分度值:1°
測量臺刻度盤游標讀數示值:6’
測量:
儀器示值誤差:± (4+L/15)μ m
儀器示值誤差:包括測量誤差和系統誤差
注:測量地點溫度變化20℃ ±3℃,L--被測件長度
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86-20-81883168

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