URE-2000／17型光刻機(jī)
　　技術(shù)特征：
　　采用多反射鏡實(shí)現(xiàn)均勻照明；
　　采用球氣浮找平，調(diào)平高；
　　率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對準(zhǔn)過程，并提供U輸出；既滿足高對準(zhǔn)，又可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲；
　　曝光波長采用純凈365nm，冷光照明（曝光面能量5mW／cm，溫度小于35度）；
　　手動上下版、樣片，手動調(diào)平；手動分離間隙。
　　快門可以單獨(dú)開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999s）；
　　采用200W（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；
　　設(shè)備外形美觀精制，性能；
　　
　　1、技術(shù)參數(shù)
　　曝光面積：100mm
　　分辨力：1.7mm（膠厚2　mm的正膠）
　　對準(zhǔn)：&plun;1mm
　　掩模樣片整體運(yùn)動范圍：X：6mm；Y：6mm
　　掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
　　樣片尺寸：直徑f15mm--f100mm
　　厚度0.1mm--6mm（可擴(kuò)展為15mm）
　　照明均勻性：&plun;5％（100mm范圍）
　　掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X：&plun;5mm；Y：&plun;5mm；q：&plun;6度
　　汞燈功率：200W（直流）
　　曝光波長：365nm
　　曝光能量密度：6mW／cm（420nm以上波長小于0.2mW／cm）
　　曝光方式：定時(shí)（到計(jì)時(shí)方式）
　　
　　2、外形尺寸：650mm（長），600mm（寬），900mm（高）
　　
　　3、配置
　　（1）曝光頭
　　200W直流高壓汞燈（德國歐司朗）
　　XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
　　光學(xué)系統(tǒng)
　　冷卻風(fēng)扇
　　（2）對準(zhǔn)工件臺
　　•掩模樣片整體運(yùn)動臺
　　•掩模樣片相對運(yùn)動臺
　　•轉(zhuǎn)動臺
　　•樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，自動完成
　　•樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動調(diào)
　　•承片臺3個(gè)（ø50mm、ø75mm、ø100mm），掩模夾3個(gè)（3寸、4寸、5寸）
　　•掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
　　（3）對準(zhǔn)顯微鏡
　　•光源、電源
　　•雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
　　•目鏡3對（10倍、16倍、25倍，共6個(gè)）
　　•物鏡3對（5倍、10倍、15倍，共6個(gè)）
　　•CCD（臺灣）
　　•19寸液晶顯示器
　　（4）電控系統(tǒng)
　　•汞燈觸發(fā)電源（500W直流汞燈）
　　•單片機(jī)控制系統(tǒng)
　　•控制機(jī)箱
　　（5）氣動系統(tǒng)
　　•氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
　　•電磁閥驅(qū)動
　　•氣動儀表
　　（6）其他附件
　　•真空泵一臺
　　•管道。