RCL-52系列小口徑熱式氣體流量計,主要用于對微小氣體的流量精密測量。以小口徑區別于傳統的熱式氣體質量流量計,RCL-56系列具有量程比寬,響應時間短,壓力 損耗小,使用方便,價格便宜等特點。RCL-56系列熱式氣體流量計在真空鍍膜 、材料科學 、微電子工業、石油 化工、醫藥、和科學研究等領域中有著重要的應用?!?
二、原理
熱式氣體流量計采用熱擴散原理,熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD),一個是速度傳感器,一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時,其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度,另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加,介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定,則須增加通過傳感器的工作電流,此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。
三、技術指標
型號:普通型、大流量、高壓型
1、量程
0-10,20,30,50,100,200,300,500mL/min,0-20,0-30,0-50 0-100L/min,0-10mL-10L/min,0-1,2,3,5,10L/min,0-150,0-200,0-250L/min
2、準確度(%F。S) ±1.5-±2% ±1.5-±2% ±1.5-±2%
3、重復±0.5% ±0.5% ±0.5%
4、響應時間1S 1S 1S
5、工作壓降≌0 ≌0 ≌0
6、耐壓3MPa 3MPa 10MPa
7、工作環境溫度0~62℃ ,-10~90℃
8、輸出信號4-20mA恒流或1-5VDC
9、供電18-36V DC
10、通徑Φ3,6,8,10,15,20…
11、流速范圍0.05—50米/秒
12、測量介質水、純凈氣體或空氣
四、附表:各通徑產品流量對應表
通徑 流速0.05—50米/秒 對應流量?。⒎矫祝r)
Φ3 0.0012----1.2717
Φ6 0.0050----5.0868
Φ8 0.0090----9.0432
Φ10 0.01413----14.13
Φ15 0.03179----31.79
Φ20 0.05652----56.52







