工作原理：
　　熱式質(zhì)量流量計(jì)由一個(gè)陶瓷半導(dǎo)體傳感器，溫度傳感器以及控制裝置組成。陶瓷半導(dǎo)體傳感器具有隨著周圍溫度的變化將自身的阻能動變化的特性。如果流體的流速發(fā)生變化，周圍溫度隨之發(fā)生變化，陶瓷半導(dǎo)體傳感器自身的阻將變化。利用這種特性測量流體的流速和流量。為了補(bǔ)償流體隨溫度的變化熱式質(zhì)量流量計(jì)還設(shè)有了溫度補(bǔ)償傳感器。陶瓷半導(dǎo)體傳感器對于流體的非線性特性的反映，需要由內(nèi)藏的微處理器進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。

　　性能參數(shù)：
　　：
　　10　～100％校準(zhǔn)范圍內(nèi)讀數(shù)的±2％
　　在校準(zhǔn)范圍的10％之內(nèi)，滿量程的±0.5％　
　　在50sfpm（標(biāo)準(zhǔn)英尺／分鐘，即0.25nm／s）之內(nèi)，滿量程的±2％　
　　重復(fù)
　　滿量程的±0.2％
　　壓力系數(shù)
　　±50psig（3.4barg）之內(nèi)可以忽略。
　　高壓需要專門校準(zhǔn)
　　響應(yīng)時(shí)間
　　1秒后速度值的63％
　　溫度系數(shù)
　　±50℉之內(nèi)由用戶指定條件，每℉讀數(shù)的±0.02％
　　±50℉～100℉之內(nèi)由用戶指定條件，每℉讀數(shù)的±0.03％
　　±25℃之內(nèi)由用戶指定條件，每℃讀數(shù)的±0.04％
　　±25℃～50℃之內(nèi)由用戶指定條件，每℃讀數(shù)的±0.06％

　　物理特性：
　　浸濕材料
　　探針：316L不銹鋼，傳感器：陶瓷
　　外殼護(hù)等級
　　危險(xiǎn)區(qū)域（IP67），NEMA　4X（IP65）均為鍍塑鑄鋁
　　連接
　　兩個(gè)3／4英寸NPT　危險(xiǎn)區(qū)域（IP67）
　　一個(gè)1／2英寸NPT　NEMA　4X（IP65）
　　安裝方式（可選）
　　ANSI　1英寸150磅的法蘭
　　帶有1／2英寸NPT公螺紋的1／2英寸管套
　　證書
　　EEx　Cenelec
　　FM
　　獲得UKAS的ISO9001
　　工作特性（Ⅰ）
　　氣體
　　適合于316L不銹鋼的大多數(shù)氣體
　　質(zhì)量流量范圍　
　　以空氣和氮?dú)鉃闇?zhǔn)，小值界于0～200sfpm（0～1nm／s），值界于0～6000sfpm（0～30nm／s）
　　氣體壓力
　　介質(zhì)壓力：值500psig（20barg）
　　1英寸150lb法蘭（15℉～176℉）：值185psig（12。8barg）
　　低壓熱螺栓：值100psig（7barg）
　　高壓熱螺栓：值　286psig（20barg）
　　壓力損失
　　管道直徑為3英寸或大于3英寸時(shí)可以忽略
　　氣體和環(huán)境溫度
　　氣體---15℉～176℉（-10℃～80℃）
　　可選擇項(xiàng)-15℉～250℉（-26℃～120℃）
　　需要更高溫度，請咨詢廠商
　　環(huán)境----5℉～120℉（-20℃～50℃）
　　泄漏
　　1X10-4　atm　cc／sec氦值
　　電源要求
　　22～28VDC（通常），值625mA
　　輸出信號
　　線性0～10VDC，1000Ω小負(fù)載或　線性4～20mA相應(yīng)的質(zhì)量流量
　　報(bào)警
　　硬觸點(diǎn)，用戶可調(diào)整高低報(bào)警值
　　繼電器容量------值：24VDC–1.25A
　　100VAC–0.5A
　　顯示
　　文字?jǐn)?shù)字2X16位背光液晶
　　全量程（50％～100％）
　　響應(yīng)時(shí)間（1～7秒）
　　校正參數(shù)設(shè)置（0.5～5）
　　點(diǎn)調(diào)整
　　高低報(bào)警設(shè)置
　　累計(jì)器
　　8位數(shù)字（9，999，999。9）
　　可通過面板上的按鍵開關(guān)和磁開關(guān)進(jìn)行軟件設(shè)置。