ASM142氦質(zhì)譜檢漏儀是法國公司新推出的用來檢測電子元器件的多功能氦質(zhì)譜檢漏儀
器。
可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細(xì)檢漏。
該檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達
到了細(xì)檢漏的目的。
合美國真空標(biāo)準(zhǔn)S2.1以及國際標(biāo)準(zhǔn)ISO3530的標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)置式標(biāo)準(zhǔn)漏孔，帶自動溫度補償
系統(tǒng)。開機5分鐘后完成準(zhǔn)備工作，可以開檢。數(shù)顯工作界面；數(shù)字顯示漏率，帶音頻報警。
工作參數(shù)可以通過菜單設(shè)定和修改?？梢栽O(shè)置報廢點。質(zhì)譜室自動保護：大氣突然沖入。
技術(shù)規(guī)格：
靈敏度：5.0×10-12 mbar.l/s
漏率顯示范圍：2×10-12~1×10-1 mbar.l/s（He）
檢漏的時間（空盒時）：小于30秒
發(fā)射電流顯示：0.2—2mA
檢漏口對氦氣的抽速：1.3升/秒
啟動時間：小于5分鐘
接口尺寸：DN 25 KF
外觀尺寸：510×343×428mm
重量：56Kg
電源：
220V 50Hz 單相
器。
可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細(xì)檢漏。
該檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達
到了細(xì)檢漏的目的。
合美國真空標(biāo)準(zhǔn)S2.1以及國際標(biāo)準(zhǔn)ISO3530的標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)置式標(biāo)準(zhǔn)漏孔，帶自動溫度補償
系統(tǒng)。開機5分鐘后完成準(zhǔn)備工作，可以開檢。數(shù)顯工作界面；數(shù)字顯示漏率，帶音頻報警。
工作參數(shù)可以通過菜單設(shè)定和修改?？梢栽O(shè)置報廢點。質(zhì)譜室自動保護：大氣突然沖入。
技術(shù)規(guī)格：
靈敏度：5.0×10-12 mbar.l/s
漏率顯示范圍：2×10-12~1×10-1 mbar.l/s（He）
檢漏的時間（空盒時）：小于30秒
發(fā)射電流顯示：0.2—2mA
檢漏口對氦氣的抽速：1.3升/秒
啟動時間：小于5分鐘
接口尺寸：DN 25 KF
外觀尺寸：510×343×428mm
重量：56Kg
電源：
220V 50Hz 單相
