目前，我國利用特種光源（波長為200納米以下）用于清潔（物）、（如設備）、（如水處理設備）的產品還少甚至空白；至今沒有研制成功的原因是國內沒有自主知識產權的、能夠完成對 200納米以下光譜的測量分析鑒定系統。“真空紫外光譜儀”就是對進入“真空紫外”段的光譜，在真空條件下完成測量的系統。由于國內市場尚無產品，同類產品又十分昂貴；該同類產品國外價格一般在十萬美元甚至數十萬美元，昂貴；因此，具有真空紫外段光譜的電光源器件的開發、研制受到限制；而具應用價值、市場急需的高、長壽命、新的電光源器件遲遲不能問世，其應用的領域不能拓展。我公司“真空紫外光譜儀”的研制成功結束了依賴的局面；為我國的特種光源及材料在上述領域的應用奠定了基礎，在分析儀器領域填補了。而該產品是本公司自主開發的，價格定位不及國外的一半，具有很高的性能價格比。
　　
　　傳統的光譜儀，是在大氣中測量的。進入“真空紫外”段（200納米以下），其光譜特性的測量需在真空條件下，由精密的光學系統來完成。其關鍵技術：
　　（1） 真空狀態下的精密機械動密封。
　　（2） 油處理。
　　（3） 連續可調密封狹縫。
　　（4） 光柵的機械補償校正。
　　點：
　　（1） 對各關鍵環節採用了分布式微處理器的自動控制。
　　（2） 設計的附加設備，可實現多樣片同時測試，減少了在密封條件下頻繁安裝與拆卸，了測試效率與。
　　（3） 取消了傳統的動密封，了系統的真空度。
　　
　　本產品的性能已國外同類產品水平，主要技術指標：
　　短波長≤50nm(納米)
　　分辨率：0. 02nm(納米)
　　國內水平（）。