主要用于半導體硅晶片檢測、LCD液晶屏檢測、實驗室材料分析及其他精密工程檢測領域,可對樣品進行明場、暗場及簡易偏光觀察。
二、儀器介紹
1)系統采用無限遠平場消色差、長工作距、明暗場兩用物鏡,成像清晰、像面平坦
2)配備反射式柯拉照明系統,為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明
3)正像三通觀察筒,25°傾斜,大的了觀察的舒適性與操作的適應性
4)配備了6"帶離合器機械平臺,行程158*158mm,可快速移動
5)人機學設計,高剛性鏡臂,“Y”型底座,調焦機構采用前置式操作控制,粗微調同軸
6)光源采用寬電壓數字調光技術,具有光強設定與復位功能
7)可選配攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等附件,拓展應用領域
三、技術參數
光學系統:無限遠色差校正光學系統
物鏡:無限遠平場消色差,長工作距金相物鏡(明暗場兩用),5X、10X、20X、50X、80X
目鏡:高眼點平場目鏡,PL10X,線視場φ22mm
高眼點平場目鏡,PL15X,線視場φ16mm
觀察筒:正像,鉸鏈式三目,25°傾斜,分光比:雙目100%,三目100%
照明系統:反射式柯拉照明,明暗場切換,帶簡易偏光接口,12V/100W鹵素燈,預置中心采用數字調光,具有光強設定與復位功能,帶針孔光闌
調焦機構:粗微調同軸,帶粗調上限位、松緊調節裝置和隨機限位裝置
粗調行程:33mm(焦后1mm),微調:0.001mm
樣品高度:32mm
物鏡轉換器:內定位、內傾式、五孔、明暗場兩用物鏡轉換器
載物臺:6英寸矩形,機械移動平臺200mmX200mm,移動行程:158mmX158mm
低位同軸調節,帶離合器控制手柄,可快速移動
機架:的人機工程學設計,高剛性鏡臂,“Y”型底座,前置式操作控制
四:選購附件:攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等。



