1、設備名稱和型號
1.1設備名稱：單槽石英管清洗機
1.2設備型號：NXXD-4SH-01A
2、設備用途：
用于去除石英管表面的氧化層及雜質
3、設備概要
本設備適用于2″-6″石英管清洗，同時也可以清洗其它能放入清洗槽中的石英器具（石英槽、石英舟、石英臺等）。本設備由國內親自指導設計，采用國際標準生產加工，在凈廠房組裝調試，此產品國內半導體生產線使用要求。
4、設備簡介
4.1設備整體尺寸：200mm（長）×800mm（寬）×2000mm（高）
4.2設備構成：
設備骨架用低碳鋼制做，外包象牙白色PVC板，美觀腐蝕。
有1個槽體：HF酸槽／DIW沖洗槽。
槽的底部都有兩個滾動軸，由電機驅動旋轉。石英管放在滾動軸上。清洗過程中，石英管按照速度轉動（速度可設定）。兩個滾動軸的間距能夠方便調節，以適應不同直徑的石英管。槽內有一個噴淋柱伸至石英管內，使藥液能噴至石英管內壁，起到清洗石英管內壁的作用。設備還可以對石英槽、石英舟等石英器具進行清洗，清洗時電機可設定待機狀態（既電機不轉動）。請參見附圖。
稀氟酸槽配有溢流、循環、過濾、鼓泡功能。通過循環泵、過濾器等組成的過濾系統，對藥液循環過濾，能延長藥液的使用時間。
采用數顯時間繼電器，清洗時間可在1-9999秒范圍內設定
排風系統通過設備后部夾層，從設備頂部接觸排氣管與用戶排氣系統連接
配有照明系統
配有前拉門，工作間內的工作環境。
1.1設備名稱：單槽石英管清洗機
1.2設備型號：NXXD-4SH-01A
2、設備用途：
用于去除石英管表面的氧化層及雜質
3、設備概要
本設備適用于2″-6″石英管清洗，同時也可以清洗其它能放入清洗槽中的石英器具（石英槽、石英舟、石英臺等）。本設備由國內親自指導設計，采用國際標準生產加工，在凈廠房組裝調試，此產品國內半導體生產線使用要求。
4、設備簡介
4.1設備整體尺寸：200mm（長）×800mm（寬）×2000mm（高）
4.2設備構成：
設備骨架用低碳鋼制做，外包象牙白色PVC板，美觀腐蝕。
有1個槽體：HF酸槽／DIW沖洗槽。
槽的底部都有兩個滾動軸，由電機驅動旋轉。石英管放在滾動軸上。清洗過程中，石英管按照速度轉動（速度可設定）。兩個滾動軸的間距能夠方便調節，以適應不同直徑的石英管。槽內有一個噴淋柱伸至石英管內，使藥液能噴至石英管內壁，起到清洗石英管內壁的作用。設備還可以對石英槽、石英舟等石英器具進行清洗，清洗時電機可設定待機狀態（既電機不轉動）。請參見附圖。
稀氟酸槽配有溢流、循環、過濾、鼓泡功能。通過循環泵、過濾器等組成的過濾系統，對藥液循環過濾，能延長藥液的使用時間。
采用數顯時間繼電器，清洗時間可在1-9999秒范圍內設定
排風系統通過設備后部夾層，從設備頂部接觸排氣管與用戶排氣系統連接
配有照明系統
配有前拉門，工作間內的工作環境。
